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J-GLOBAL ID：201902212364967434   整理番号：19S0582016

Electrical resistivity and its thermal coefficient of TiW alloy thin films prepared by two different sputtering systems

著者 (4件)： Sakurai, Yutaka (Toyama National College of Technology) ,  Ikeda, Shinji (Toyama National College of Technology) ,  Sakamoto, Yoshinori (Toyama National College of Technology) ,  Takeda, Yuya (Takeda Design and Manufacturing Co., Ltd.)
資料名： Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics
巻： 11  号： 9-10  ページ： 1423-1426  発行年： 2014年 
JST資料番号： SCOPUS  ISSN： 1862-6351 
発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： ITS