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J-GLOBAL ID：201902216920499086   整理番号：19A2189552

フォトリソグラフィ加工による圧延ロール面への微細パターン形成 -テクスチャリング用レリーフの一括形成-

Fine Patterning Method for Roll Surface Using Photolithography -Micro-Fabrication of Relief for Texturing-

著者 (3件)： 佐々木実 (豊田工業大学工学部) ,  弓削英翔 (豊田工業大学工学部) ,  鈴木大瑛 (豊田工業大学工学部)
資料名： 塑性と加工  (Journal of the Japan Society for Technology of Plasticity)
巻： 60  号： 702  ページ： 195-202(J-STAGE)  発行年： 2019年 
JST資料番号： G0076A  ISSN： 0038-1586  CODEN： SOKAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 三次元フォトリソグラフィの新しい技術を,円筒ロール表面にテクスチャリングレリーフを作製するために導入した。任意の微細パターン形状に対して高いスループットを実現するフォトリソグラフィの利点は,ポリビニルアルコール層を有するシートを導入することによってロール表面に効果的に適用される。ロール鋼の湿式エッチングと電解研磨の後に,凸リングアレイを得た。300~900dpi相当のピッチを有する4つの異なるリングアレイのすべての設計パターンを得た。リング外径は26~76μmであり,それらのアレイピッチは設計において28~84μmである。50μm以下のパターンは肉眼で検出できなかった。最小リング幅は設計において7μmである。実際のその平均は,ロール金属のアンダーエッチングにより,2.75μmである。このようなロールの微細テクスチャーパターンは,従来のショットピーニングを適用すると発生するスパイクがなく,平滑なプロフィルを有する。リングパターンは,引裂きなしにアルミニウム板に適切に転写される。ロールと転写アルミニウム板のパターンサイズは,サイズが3μm以下の標準偏差で合理的に一致した。より微細なリングパターンアレイは,より大きな光回折効果を発生できるので,入射照明光はより広い反射および回折光学角を示した。全体の表面は,つや消しの白色調を示した。全体として,フォトリソグラフィと機械的圧延の技術の組合せを実証した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 圧延 ,  *圧延ロール ,  表面処理 ,  *テキスチャード加工 ,  パターン形成 ,  微細加工 ,  *フォトリソグラフィー ,  転写 ,  表面構造 ,  ウェットエッチング ,  電解研磨 ,  光回折 ,  ポリビニルアルコール
準シソーラス用語： テクスチャリング ,  微細パターン形成 ,  表面レリーフ ,  湿式エッチング

著者キーワード (8件)： 圧延 ,  ナノ/マイクロ成形 ,  3次元フォトリソグラフィー ,  テキスチャード加工 ,  円筒表面上のパターン化レリーフ ,  ポリビニルアルコールによるシート ,  アルミニウム板 ,  アルミニウム被覆鋼板

分類 (2件)： 圧延技術  (WC06030Z) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (14件)：

• 1) Yukawa, N.:J. Jpn. Soc. Technol. Plast., 52-604 (2011), 524-527.
• 2) Yoshida, K.:Jitsumu Hyomen Gijutsu, 21-6 (1974), 295-303.
• 3) Maehara, K., Fujita, T. & Inaba, M.:JP. 1996-217926, (1996).
• 4) Kakegawa, T., Shimizu, T., Sagisaka, Y. & Yang, M.:J. Jpn. Soc. Technol. Plast., <b>56</b>-657 (2015), 891-896.
• 5) Aizawa, T.:J. Jpn. Soc. Technol. Plast., 56-657 (2015), 866-870.

タイトルに関連する用語 (5件)： フォトリソグラフィ ,  圧延ロール面 ,  微細パターン形成 ,  テクスチャリング ,  レリーフ