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J-GLOBAL ID：201902217286021658   整理番号：19A1414518

調整可能な位相を持つ連続高調波で駆動されるRF基板バイアスによる誘導放電における増強電力結合効率【JST・京大機械翻訳】

Enhanced power coupling efficiency in inductive discharges with RF substrate bias driven at consecutive harmonics with adjustable phase

著者 (7件)： Berger Birk (Electrodynamics and Physical Electronics, Brandenburg University of Technology Cottbus-Senftenberg, 03046 Cottbus, Germany) ,  Steinberger Thomas (Department of Physics, West Virginia University, Morgantown, West Virginia 26506, USA) ,  Schuengel Edmund (Evatec AG, CH-9477 Truebbach, Switzerland) ,  Koepke Mark (Department of Physics, West Virginia University, Morgantown, West Virginia 26506, USA) ,  Mussenbrock Thomas (Electrodynamics and Physical Electronics, Brandenburg University of Technology Cottbus-Senftenberg, 03046 Cottbus, Germany) ,  Awakowicz Peter (Institute for Electrical Engineering, Ruhr-University Bochum, 44801 Bochum, Germany) ,  Schulze Julian (Department of Physics, West Virginia University, Morgantown, West Virginia 26506, USA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 111  号： 20  ページ： 201601-201601-5  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高周波(RF)基板バイアスによる誘導放電は,様々な技術的応用のために頻繁に使用されている。著者らは,数Paの低圧におけるネオン中のRF源間の固定されたが調整可能な位相との誘導結合の周波数の2倍の周波数で,位相同期RF基板バイアスにより,このようなハイブリッド放電を動作させた。基板へのイオン束は,平面コイルのいくつかの残留容量結合が存在する限り,一定RFパワーでのHモードにおけるこの相対位相の関数であることが分かった。相の明確な選択のために,位相分解光学発光分光測定は,拡張境界シース(i)により生成されたエネルギービーム電子が良く閉込められ,(ii)効率的に加速され,(iii)基本RF周期内の最大方位角誘起電場の時間で誘導性スキン層を通して垂直に伝搬することを示した。これは,誘導確率的電子加熱,パワー結合効率,および最終的にイオンフラックスを強化する。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 低圧 ,  *高調波 ,  電磁結合 ,  位相同期 ,  *位相 ,  *放電 ,  方位角 ,  *電力 ,  発光分光法 ,  電場 ,  ネオン
準シソーラス用語： 電子加熱 ,  平面コイル ,  *結合効率 ,  *基板バイアス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  測光と光検出器一般  (BD07031F)

タイトルに関連する用語 (8件)： 位相 ,  高調波 ,  RF ,  基板バイアス ,  誘導 ,  放電 ,  増強 ,  結合効率