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J-GLOBAL ID：201902217627359513   整理番号：19A0132688

表面マイクロマシニングにより作製した傾斜プロファイルによる出力圧力PMUTの増加【JST・京大機械翻訳】

Increased Output-Pressure PMUTs with a Sloped Profile Fabricated via Surface Micromachining

著者 (4件)： Luo Guo-Lun (Berkeley Sensor & Actuator Center, University of California, Davis Davis, CA, USA) ,  Wang Qi (Berkeley Sensor & Actuator Center, University of California, Davis Davis, CA, USA) ,  Kusano Yuri (Berkeley Sensor & Actuator Center, University of California, Davis Davis, CA, USA) ,  Horsley David (Berkeley Sensor & Actuator Center, University of California, Davis Davis, CA, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： IFCS  ページ： 1-4  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,傾斜プロファイルを持つAIN圧電微細加工超音波変換器(PMUT)を形成できる新しい表面マイクロマシニングプロセスを実証した。以前の湾曲PMUT構造と同様に,傾斜プロファイルは圧電層の電気機械結合を増加させ,透過振幅を3倍に増強した。複雑なエッチングプロセスを用いて作製した以前の湾曲PMUTとは異なり,ここで示したプロセスは,工業用PMUT製造に使用される大量生産プロセスと互換性のある簡単な表面マイクロマシニングプロセスである。さらに,品質因子は,より少ないアンカー損失を有するダイヤフラムの傾斜アンカーによって改良することができた。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *圧電気 ,  超音波変換器 ,  大量生産 ,  微細加工 ,  ダイヤフラム ,  電気機械 ,  互換性
準シソーラス用語： 品質因子 ,  湾曲 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 符号理論  (ND02030R) ,  専用演算制御装置  (JC04030Y) ,  音声処理  (JE05000E)

タイトルに関連する用語 (3件)： 表面マイクロマシニング ,  作製 ,  プロファイル