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J-GLOBAL ID：201902219851506498   整理番号：19S0036212

Magnetic field analysis for magnetron sputtering apparatus for accurate composition control

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著者 (3件)：
Sakurai, Yutaka

Sakurai, Yutaka について

(Toyama National College of Technology)

Toyama National College of Technology について

, 
Nakajima, Ryo

Nakajima, Ryo について

(YKK Corporation)

YKK Corporation について

, 
Nakamura, Hiroko

Nakamura, Hiroko について

(Hokuriku Electric Power Company)

Hokuriku Electric Power Company について


資料名：
Solid State Phenomena

Solid State Phenomena について


巻： 154  ページ： 175-179  発行年： 2009年 
JST資料番号： SCOPUS  ISSN： 1012-0394  ISBN： 9783908451709  CODEN： DDBPE 
発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

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