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J-GLOBAL ID：201902220670626746   整理番号：19A0912068

高精度慣性加速度計に適用したシリコン柔軟棒の強度解析【JST・京大機械翻訳】

Strength analysis of silicon flexible bar applied in high-precision inertial accelerometer

著者 (7件)： Cheng Jian (Harbin Institute of Technology (China)) ,  Wang Jinghe (Harbin Institute of Technology (China)) ,  Hou Jing (Chengdu Fine Optical Engineering Research Ctr. (China)) ,  Qu Ping (Harbin Institute of Technology (China)) ,  Xie Hanxiao (Harbin Institute of Technology (China)) ,  Yang Sen (Harbin Institute of Technology (China)) ,  Peng Enhong (Harbin Institute of Technology (China))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10838  ページ： 108380P-10  発行年： 2019年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高精度慣性加速度計は,航空宇宙,および軍事分野で主に使用されている。高精度慣性加速度計のコア部分として,シリコンフレキシブルバーは,非常に動的な環境で作動しており,それは強い衝撃荷重をもたらす。したがって,シリコンの柔軟な棒は,常に,強い衝撃荷重によって引き起こされる亀裂と破壊による破壊に遭遇する。本研究では,まず,有限要素法を用いて,シリコンフレキシブルバーの動的特性を解析した。種々の周波数を有する動的荷重の下の柔軟な棒の主要な動作モードと応力応答を研究した。次に,シリコン部品の応力分布に及ぼす過渡的衝撃荷重と周期の影響を調査するために,シリコンフレキシブルバーの過渡的衝撃プロセスをシミュレーションした。また,シリコンフレキシブルバーの応力-ひずみ挙動を解析した。最終的に衝撃実験により,ケイ素柔軟棒の臨界破壊加速度と強度弱点位置を決定した。実験結果をシミュレーション結果と比較した。(1)一次モードは柔軟な棒の作動モードであり,それはx軸のまわりで上下に揺れる。過渡衝撃荷重は柔軟な棒の曲げ変形を引き起こし,z方向に応力成層をもたらし,応力が最小の中立層を生成する。引張および圧縮応力を,中立層の両側および表面に近い側に適用し,応力を大きくした。(2)シリコンフレキシブルバーの臨界破壊加速度は100gである。柔軟な棒の根は,応力集中による最も脆弱な位置である。同じ衝撃荷重の下で,負荷時間が短ければ短いほど,棒の根における応力はより大きくなった。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 引張 ,  有限要素法 ,  臨界 ,  亀裂 ,  *加速度 ,  シミュレーション ,  *加速度計 ,  衝撃荷重 ,  圧縮応力 ,  衝撃試験 ,  動荷重 ,  衝撃 ,  *ケイ素 ,  応力分布
準シソーラス用語： 脆弱性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 慣性 ,  加速度計 ,  シリコン ,  棒 ,  強度解析