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J-GLOBAL ID：201902221089415038   整理番号：19A2397438

柔軟切削工具を用いた硬脆材料の微細溝加工

著者 (2件)： 芦田極 (産業技術総合研 製造技術研究部門) ,  森田昇 (千葉大 大学院工学研究科)
資料名： 機械の研究  (Science of Machine)
巻： 71  号： 10  ページ： 759-763  発行年： 2019年10月01日 
JST資料番号： F0147A  ISSN： 0368-5713  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・本研究では,AFMの荷重制御メカニズムをベースに柔軟なカンチレバー型工具を用いて深さ1~10μmの単一溝切削加工をおこなう切削加工システムを構築。
・切削加工では,一般に高剛性な工具ホルダが要求されるのに対し,容易に変形する柔軟なカンチレバー型の工具ホルダを用い,変位センサでそのたわみを測定,圧電素子を用いた微動機構によりたわみ量を一定にフィードバック制御することで切込み量を一定に制御。
・開発した柔軟な切削工具による加工システムを用いて各種材料に対して切削加工実験をおこなったところ,ガラスや単結晶シリコンなどの硬脆材料において,従来は延性モード切削が不可能とされていた切込み深さで,延性モード切削が可能な条件を獲得。

シソーラス用語： *切削工具 ,  硬質 ,  材料 ,  脆性 ,  *溝加工 ,  微細加工 ,  片持梁 ,  溝 ,  切削 ,  延性 ,  工具ホルダ ,  延性-脆性遷移 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  切削試験 ,  内部応力
準シソーラス用語： *硬脆材料 ,  *微細溝加工 ,  V溝 ,  延性モード切削 ,  脆性-延性遷移

分類 (1件)： 切削一般  (QC02010V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 切削工具 ,  硬脆材料 ,  微細溝