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J-GLOBAL ID：201902221655079124   整理番号：19A1419109

プラズマジェットを用いた真空中の静的除去【JST・京大機械翻訳】

Static elimination in vacuum using plasma jet

著者 (1件)： Ikehata Takashi (Institute of Quantum Beam Science, Ibaraki University, 4-12-1 Nakanarusawa, Hitachi, Ibaraki, 316-8511, Japan)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 166  ページ： 184-190  発行年： 2019年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 真空プロセス(典型的な<10~3Pa)は,有機LEDパネルと食品包装フィルムの製造環境において拡大している。しかし,真空中での帯電材料と生成物の静的除去法は,コロナイオン化剤が利用可能な大気中ではまだ確立されていない。したがって,著者らは,中和電荷キャリア源としてプラズマジェットを用いた新しい静的除去法を提案している。本論文では,中和電流,静的脱離時間,オフセットポテンシャルおよび中和粒子の運動エネルギーのような性能を予測するために,静電二重プローブに基づくプラズマ静的除去のモデルを開発した。さらに,モデルの実験的検証を示した。極性に関係なく,物体電位は時間とともに直線的に減少し,過充電なしで0Vに近づくことが分かった。速度は従来のコロナイオン化器のそれらよりはるかに高い。加えて,正と負の極性の間の除去時間における非対称性が存在する。結果は,プラズマが電気的に接地されたチャンバに物体を接続する導体の役割を果たすことを示唆した。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 導体 ,  イオン化 ,  パネル ,  太陽コロナ ,  *プラズマジェット ,  *プラズマ ,  帯電 ,  脱着 ,  オフセット ,  電流 ,  中性化 ,  電位 ,  過充電 ,  複探針 ,  有機EL素子

著者キーワード (5件)： 静的除去 ,  真空 ,  プラズマジェット ,  理論モデル ,  ダブルプローブ1

分類 (2件)： 真空技術  (BA02020L) ,  プラズマ流,プラズマの電磁流体力学  (BJ02040I)

タイトルに関連する用語 (2件)： プラズマジェット ,  真空