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J-GLOBAL ID：201902225201451094   整理番号：19A1373319

コロナ放電空気イオン化装置の電場と中和電流密度に及ぼす運転周波数の影響

Effects of Operating Frequency on Electric Field and Neutralizing Current Density of a Corona Discharge Air Ionizer

著者 (3件)： OKANO M. (Ibaraki Univ., Hitachi, JPN) ,  IKEHATA T. (Ibaraki Univ., Hitachi, JPN) ,  TERASHIGE T. (Hiroshima International Univ., Hiroshima, JPN)
資料名： International Journal of Plasma Environmental Science & Technology  (International Journal of Plasma Environmental Science & Technology)
巻： 12  号： 2  ページ： 120-124  発行年： 2019年01月 
JST資料番号： L6832A  ISSN： 1881-8692  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ・電子装置の製造工程では,静電気は有害に効果をもたらし,その有効な解決策として,空気イオナイザに着目。
・検査工程において電子装置に帯電した静電気を中和するために使用される空気イオナイザの中和特性は動作条件に依存。
・コロナ放電の空気イオナイザの最も重要な運転条件,すなわち中立化特性に対する運転周波数の影響について検討。
・0.3m/sの層流が存在する微細環境において,空気イオナイザを運転。
・15kVの交流電圧と2~25Hzの周波数範囲で帯電板モニタを用いて中和特性を測定。
・中和周波数と電界は,動作周波数の増加と共に減少し,10Hz付近で最大値を示すことが判明。

シソーラス用語： *コロナ放電 ,  *イオン化 ,  周波数 ,  電流密度 ,  電場効果 ,  帯電防止 ,  *静電気 ,  交流電圧 ,  生産工程 ,  電子装置 ,  監視装置
準シソーラス用語： *イオナイザ ,  運転条件 ,  *空気イオン化 ,  半導体製造

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  静電気学,静磁気学  (BD01010C)

引用文献 (26件)：

• O. J. McAteer, “Electrostatic discharge control”, McGraw-Hill., U.S.A.,pp. 203-255, 1990.
• D. Krakauer, “ESD protection in a 3.3 V sub-micron silicided CMOS technology,” J Electrostat., vol. 31, pp. 111-129, 1993
• S. U. Kim, “ESD induced gate oxide damage during wafer fabrication process,” J. Electrostat, vol. 31, pp. 323-337, 1993
• T. Terashige, D. Ohashi and K. Okano, “Noise reduction of corona discharge air ionizer,” EOS/ESD Symposium, Charlotte, NC, U.S.A., pp. 243-247, 2002.
• S. Nagao, T. Terashige and K. Okano, “Effect of space charge generated by air ionizer on noise in electric devices and/or electric circuit,” ECS Int'l Semiconductor Technology Conference, Shanghai, China, pp. 57-63, 2004.

タイトルに関連する用語 (6件)： コロナ放電 ,  空気イオン化 ,  電場 ,  中和 ,  電流密度 ,  運転周波数