文献

J-GLOBAL ID：201902227186652995   整理番号：19A1831738

低温溶液プロセスを用いたアクティブマトリックス酸化物薄膜トランジスタによる圧電アクチュエータ配列の直接集積【JST・京大機械翻訳】

Direct integration of piezoactuator array with active-matrix oxide thin-film transistors using a low-temperature solution process

著者 (5件)： Tue Phan Trong (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology, 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1211, Japan) ,  Shimura Reijiro (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology, 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1211, Japan) ,  Shimura Reijiro (Department of Innovative and Engineered Materials, Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama, 226-8502, Japan) ,  Shimoda Tatsuya (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology, 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1211, Japan) ,  Takamura Yuzuru (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology, 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1211, Japan)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 295  ページ： 125-132  発行年： 2019年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標準CMOS(完全金属酸化物半導体)技術による薄膜圧電アクチュエータの集積は,エレクトロニクス,マイクロフルイディクス,センサおよびアクチュエータのような全集積スマートデバイスに対して多くの実用的関心を引き付けている。しかし,集積化の主な障害は,圧電薄膜(600~750°C)の結晶化に必要な高いアニーリング温度にあり,それはバック回路の劣化をもたらす。本論文では,低温(450°C)溶液処理可能PZT薄膜を用いた活性マトリックス酸化物薄膜トランジスタ(TFT)による,最大の商業的応用性を有するPZT薄膜の直接集積を初めて報告した。活性マトリックスTFTにより電気的に駆動されたPZTアクチュエータアレイの作動を確認した。提案した装置は,マイクロポンプ/バルブ,マイクロ流体制御,エネルギー収穫,センサなどの様々な応用に使用できる。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *アクティブマトリックス ,  結晶化 ,  MEMS ,  電子技術 ,  *薄膜 ,  *低温 ,  *アクチュエータ ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  マイクロフルイディクス ,  *薄膜トランジスタ ,  *酸化物 ,  センサ
準シソーラス用語： マイクロ流体 ,  スマートデバイス ,  *圧電アクチュエータ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 圧電アクチュエータ ,  酸化物薄膜トランジスタ ,  PZT ,  低温 ,  溶液プロセス ,  MEMS

分類 (1件)： 圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (8件)： 低温 ,  溶液 ,  プロセス ,  アクティブマトリックス ,  酸化物薄膜 ,  トランジスタ ,  圧電アクチュエータ ,  集積