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J-GLOBAL ID：201902228805400547   整理番号：19A1416245

レーザ熱モードリソグラフィーにおける熱場プロファイルの操作とシミュレーション【JST・京大機械翻訳】

Manipulation and simulations of thermal field profiles in laser heat-mode lithography

著者 (4件)： Wei Tao (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China) ,  Wei Jingsong (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China) ,  Wang Yang (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China) ,  Zhang Long (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 122  号： 22  ページ： 223107-223107-13  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ熱モードリソグラフィーは,大面積マイクロ/ナノ構造の高速作製のための非常に有用な方法である。ナノスケールのパターン構造を得るために,熱拡散チャネルを操作する必要がある。本研究では,レーザ熱モードリソグラフィーにおける熱拡散の操作を報告し,面内熱拡散を抑制し,面外熱拡散を改善する方法を提供した。熱モードレジスト薄膜における熱場プロフィルを示した。熱モードレジスト薄膜の厚さを減少させ,熱伝導層を挿入し,レーザ照射時間を短くすることにより,熱スポットのサイズを減少させることができることが分かった。面内熱拡散が完全に抑制され,面外熱拡散が改善される最適化レーザ書込み戦略も示した。熱スポットサイズはレーザスポットのそれにほぼ等しい。この研究はレーザ熱モードリソグラフィーに非常に重要なガイドを提供する。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： チャネル ,  熱拡散 ,  *レーザ ,  高速度 ,  レーザ照射 ,  ナノ構造 ,  最適化
準シソーラス用語： スポットサイズ ,  ナノスケール ,  大面積 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体中の拡散一般  (BL06021L) ,  その他の熱的変量の計測法・機器  (AD06040R)

タイトルに関連する用語 (3件)： レーザ ,  プロファイル ,  シミュレーション