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J-GLOBAL ID：201902229058154255   整理番号：19A2028844

ストークス偏光計によるレンズの傷検査

著者 (1件)： 大谷幸利 (宇都宮大 オプティクス教育研究セ)
資料名： 光技術コンタクト  (Optical and Electro-Optical Engineering Contact)
巻： 57  号： 8  ページ： 25-31  発行年： 2019年08月20日 
JST資料番号： S0624A  ISSN： 0913-7289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・精密加工の生産工程の評価や様々な製品の最終検査では,マイクロメートルからナノメートルほどの傷や欠陥の検出が必要。
・ある偏光状態を照明したときの被測定物からの反射光の偏光状態がその構造に依存して変化するので,ストークスパラメータによって傷検査が可能。
・ストークスパラメータを偏光分離することで,レンズの傷欠陥検出を可能する照明光学系について検討。
・6軸アーム型ロボットにストークスイメージング偏光計を取り付けたシステムを構築。
・アーム型ロボットでは,多方面からの光散乱や光反射による偏光状態の変化を検出できることが判明。
・レンズ表面の測定だけでなく様々な欠陥や傷検出の新たな可視化を実現。

シソーラス用語： *レンズ ,  光学部品検査 ,  *偏光計 ,  Stokesパラメータ ,  亀裂 ,  *損傷検出 ,  偏光測定 ,  撮像装置 ,  ロボットアーム ,  最終検査 ,  故障検出 ,  生産工程 ,  精密加工 ,  光学系 ,  光反射 ,  可視化 ,  きず ,  *亀裂検出 ,  *検出

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  偏光測定と偏光計  (BD07050K)

引用文献 (5件)：

• Y.Otani,et.al.: Proc.SPIE, 7063 (2008) 70630Y.
• Y.Otani, S.Shibata, H.Hasegawa : ISOT2017(2017).
• S.Shibata, N.Hagen, Y.Otani : Optics Letters,44, 4, pp. 891-894 (2019)
• N.Hagen, Y.Otani : Applied Optics,57(15), 4283-4296 (2018).
• N.Hagen, S.Shibata, Y.Otani: Optical Engineering, 58(8), 082408 (2019).

タイトルに関連する用語 (4件)： 偏光計 ,  レンズ ,  傷 ,  検査