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J-GLOBAL ID：201902229110973243   整理番号：19A2738241

等価回路を用いたコロナ放電空気イオン化装置の中性化特性のシミュレーション

A simulation on neutralization performance of a corona discharge air ionizer by using an equivalent circuit

著者 (4件)： Okano Makoto (Ibaraki University, 4-12-1 Nakanarusawa-cho, Hitachi, Ibaraki, 316-8511, Japan) ,  Ikehata Takashi (Ibaraki University, 4-12-1 Nakanarusawa-cho, Hitachi, Ibaraki, 316-8511, Japan) ,  Suzuki Seiya (HIP Corporation, 8-8 Kusunoki, Nishiku, Yokohama, 220-0003, Japan) ,  Terashige Takashi (Hiroshima International University, 5-1-1 Hirokoshingai, Kure, Hiroshima, 737-0112, Japan)
資料名： IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering  (IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering)
巻： 14  号： 12  ページ： 1732-1738  発行年： 2019年12月 
JST資料番号： W1854A  ISSN： 1931-4973  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： コロナ放電空気イオン化装置は,製造および/または検査プロセスの間,電子装置上の静電気を中性化するために使用されてきた。中性化特性,すなわち,作業領域における中性化電流密度(J_W)と中性化電場(E_W)は,運転条件に依存する。中性化特性を推定する方法は,生産ラインを停止することなくそれらをチェックするために必要である。本論文では,発生,輸送,および作業領域における正および負のイオンの挙動を推定するために,集積回路用シミュレーションプログラム(SPICE)と呼ばれる等価回路シミュレーションを用いた推定法を提案した。シミュレーションにおいて,イオン発生特性をダイオードと抵抗器によってシミュレーションした。イオンの輸送と蓄積をそれぞれ抵抗器とコンデンサによってシミュレートした。再結合によるイオンの消滅を,コンデンサと抵抗器から成る回路によりシミュレートした。シミュレーション結果は,空気イオナイザのエミッタと作業領域の間の距離が変化するとき,実験結果と良く一致した。Copyright 2020 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 装置 ,  *イオン化 ,  *帯電防止 ,  *コロナ放電 ,  SPICEプログラム ,  *回路シミュレーション ,  中性化 ,  除去 ,  静電気 ,  製造 ,  イオン電流 ,  イオン輸送 ,  空間電荷 ,  生産ライン ,  作業空間 ,  RC回路 ,  電流密度 ,  電場 ,  除電
準シソーラス用語： イオナイザ ,  半導体製造

著者キーワード (6件)： 空気イオン化装置 ,  コロナ放電 ,  SPICE ,  シミュレーション ,  中和性能 ,  半導体製造

分類 (2件)： 静電機器  (NB10020R) ,  気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 等価回路 ,  コロナ放電 ,  空気イオン化 ,  中性化 ,  シミュレーション