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J-GLOBAL ID：201902232448736857   整理番号：19A1173934

水晶振動子センサー上に形成したナノ炭素グラフェン膜の構造

著者 (5件)： 柴山義行 (室蘭工大) ,  山田真也 (ファインクリスタル) ,  山田真也 (日本製鋼所) ,  小川健吾 (ファインクリスタル) ,  小川健吾 (日本製鋼所)
資料名： 室蘭工業大学地域共同研究開発センター研究報告
号： 29  ページ： 13-15  発行年： 2019年 
JST資料番号： L5514A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・水晶振動子における表面弾性波(SAW)の縦波放射を利用したSAWセンサの感応膜として,従来のSnO₂ゾルゲル膜に代わるグラフェンの可能性を検討するために,水晶基板上に形成したナノグラフェン膜の構造と物性評価を実施。
・アニール温度が100°Cで観察される筋状構造が200°Cでは消失し,これは200°Cで酸化ナノグラフェンが還元され,その際ナノグラフェン結晶子が水晶基板に対して水平に配向することを示唆。
・300°Cのアニールにより電気抵抗の大きさが1/10⁹になり,ナノグラフェン膜の構造の秩序化が影響。

シソーラス用語： *センサ ,  *弾性表面波素子 ,  グラフェン ,  ナノ構造 ,  水晶振動子 ,  疎水性 ,  熱処理 ,  電気抵抗 ,  感応膜 ,  *弾性表面波センサ
準シソーラス用語： *SAWセンサ

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 水晶振動子 ,  センサー ,  炭素 ,  グラフェン膜