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J-GLOBAL ID：201902236369538904   整理番号：19A0128939

コバルトアミジナートによる窒化コバルトのプラズマ増強原子層堆積【JST・京大機械翻訳】

Plasma enhanced atomic layer deposition of cobalt nitride with cobalt amidinate

著者 (7件)： Fan Qipeng (Laboratory of Plasma Physics and Materials, Beijing Institute of Graphic Communication, Beijing 102600, China) ,  Sang Lijun (Laboratory of Plasma Physics and Materials, Beijing Institute of Graphic Communication, Beijing 102600, China) ,  Jiang Derong (Laboratory of Plasma Physics and Materials, Beijing Institute of Graphic Communication, Beijing 102600, China) ,  Yang Lizhen (Laboratory of Plasma Physics and Materials, Beijing Institute of Graphic Communication, Beijing 102600, China) ,  Zhang Haibao (Laboratory of Plasma Physics and Materials, Beijing Institute of Graphic Communication, Beijing 102600, China) ,  Chen Qiang (Laboratory of Plasma Physics and Materials, Beijing Institute of Graphic Communication, Beijing 102600, China) ,  Liu Zhongwei (Laboratory of Plasma Physics and Materials, Beijing Institute of Graphic Communication, Beijing 102600, China)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 37  号： 1  ページ： 010904-010904-7  発行年： 2019年 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： コバルト窒化物(Co_3N_x)薄膜を,ビス(N,N′-ジ-iso-propylacetamidinato)コバルト(II)[Co(ipr2AMD)_2]とNH_3プラズマを用いて,100°Cまでの低温でプラズマ増強原子層蒸着(ALD)法により蒸着した。飽和曲線は,堆積過程が0.075nm/サイクルの成長速度で理想的自己制限ALD様式に従うことを示した。Co_3N_xの公称式におけるxは約0.78であり,膜は六方晶系Co_3N結晶構造を有する多結晶であることを実証した。このプロセスは,20:1のアスペクト比をもつトレンチにおいて,純粋で滑らかで,高度に共形のCo_3N_x膜を堆積することができ,低温での他の金属窒化物の堆積に拡張できる。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *プラズマ ,  成長速度 ,  結晶構造 ,  窒化物 ,  薄膜 ,  六方晶系 ,  低温 ,  多結晶 ,  アスペクト比
準シソーラス用語： 金属窒化物 ,  トレンチ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 窒化 ,  コバルト ,  プラズマ ,  増強 ,  原子層堆積