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J-GLOBAL ID：201902237526703364   整理番号：19A0883287

低温蒸気トラップ熱化学蒸着を用いたサファイア基板上に成長させたZnOマイクロ/ナノ構造:構造と光学特性【JST・京大機械翻訳】

Zno Micro/Nanostructures Grown on Sapphire Substrates Using Low-Temperature Vapor-Trapped Thermal Chemical Vapor Deposition: Structural and Optical Properties

著者 (3件)： Hu Po-Sheng (Institute of Photonic System, National Chiao Tung University, Tainan City 71150, Taiwan) ,  Wu Cheng-En (Institute of Imaging and Biomedical Photonics, National Chiao Tung University, Tainan City 71150, Taiwan) ,  Chen Guan-Lin (Institute of Photonic System, National Chiao Tung University, Tainan City 71150, Taiwan)
資料名： Materials (Web)  (Materials (Web))
巻： 11  号： 1  ページ： 3  発行年： 2017年 
JST資料番号： U7237A  ISSN： 1996-1944  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,低温,蒸気トラップ化学蒸着システムにおけるZnOミクロ/ナノ構造のZn(C5H7O2)2 xH2Oベース成長を,潜在的生物医学応用のための構造的および光学的性質を最適化するために試みた。チャンバー出口を部分的に閉塞することによって,チャンバー管内の流れ内ガス分子とZinc蒸気を捕捉することによって,高圧条件を達成することができ,この実験装置は,合成の容易さ,低温プロセス,およびコスト有効性の利点を有する。経験的には,成長過程は,大気圧730Torr,入力ガスの制御体積流量,N2/O2,Minute当たり500/500標準Cubicセンチメートル(SCCM)の制御体積流量,500°Cの指定オーブン温度のチャンバー条件下で進行した。特に,成長時間と空間依存温度に対する構造の構造と光学特性の依存性を走査電子顕微鏡,X線回折(XRD),光ルミネセンス(PL),紫外可視透過分光法を用いて調べた。実験結果は,六方晶構造とより高い構造均一性で観察された成長した薄膜が,より顕著な構造と光学的特徴を可能にすることを示した。XRDスペクトルは,結晶化の主な方向として(002)と(101)の結晶面に沿った支配的なピークを示す。さらに,325nmのレーザ波長で励起された構造は380nm付近の信号放射を発するが,254nmの波長の紫外線ランプは363.96nmと403.52nmに明確な光ルミネセンスピークを示し,成長持続時間と温度の空間勾配の関数として異なる構造相関を明らかにした。構造の透過率スペクトルは,200nmから400nmの波長範囲で典型的な変化を示し,その構造相関はPLと比較して有意ではなかった。Copyright 2019 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 六方晶系 ,  結晶化 ,  *低温 ,  *酸化亜鉛 ,  走査電子顕微鏡 ,  *ナノ構造 ,  継続時間 ,  薄膜 ,  *光学的性質 ,  X線回折 ,  スペクトル ,  光ルミネセンス ,  最適化 ,  波長
準シソーラス用語： チャンバ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 低温プロセス ,  蒸気トラップCVD ,  構造的および光学的キャラクタリゼーション

分類 (2件)： 表面の電子構造  (BM02080J) ,  強化プラスチックの成形  (YH04060J)

引用文献 (18件)：

• Chen, Y.; Bagnall, D.M.; Koh, H.; Park, K.; Zhu, Z.; Yao, T. Plasma assisted molecular beam epitaxy of ZnO on c -plane sapphire: Growth and characterization. J. Appl. Phys. 1998, 84, 3912.
• Tang, Z.K.; Wong, G.K.L.; Yu, P.; Kawasaki, M.; Ohtomo, A.; Koinuma, H.; Segawa, Y. Room-temperature ultraviolet laser emission from self-assembled ZnO microcrystallite thin films. Appl. Phys. Lett. 1998, 72, 3270.
• Reynolds, D.C.; Lock, D.C.; Jogai, B. Optically pumped ultraviolet lasing from ZnO. Solid State Commun. 1996, 99, 873.
• Bagnall, D.M.; Chen, Y.F.; Zhu, Z.; Yao, T.; Koyama, S.; Shen, M.Y.; Goto, T. Optically pumped lasing of ZnO at room temperature. Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2230.
• Yang, P.; Yan, H.; Mao, S.; Russo, R.; Johnson, J.; Saykally, R.; Morris, N.; Pham, J.; He, J.R.; Choi, H.J. Controlled growth of ZnO nanowires and their optical properties. Adv. Funct. Mater. 2002, 12, 323.

タイトルに関連する用語 (8件)： 低温 ,  蒸気トラップ ,  熱化学蒸着 ,  サファイア基板 ,  成長 ,  ZnO ,  ナノ構造 ,  光学特性