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J-GLOBAL ID：201902238057432848   整理番号：19A1927790

半導体製造原料ガスのテラヘルツ分光による分析~人体への影響の観点から~

著者 (3件)： 安田新 (鶴岡工高専) ,  森谷克彦 (鶴岡工高専) ,  佐々木哲朗 (静岡大 電子工研)
資料名： 生体医歯工学共同研究拠点成果報告書
巻： 2018  ページ： 176  発行年： 2019年04月 
JST資料番号： F2136A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： 半導体製造 ,  原料ガス ,  テラヘルツ分光 ,  分析 ,  人体への影響 ,  観点