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J-GLOBAL ID：201902238875091605   整理番号：19A0489132

マイクロCMMのための三次元共鳴トリガプローブ【JST・京大機械翻訳】

A Three-Dimensional Resonant Triggering Probe for Micro-CMM

著者 (7件)： Huang Qiangxian (School of Instrument Science and Opto-Electronic Engineering, Hefei University of Technology, No. 193, Tunxi Road, Hefei 230009, China) ,  Chen Chen (School of Instrument Science and Opto-Electronic Engineering, Hefei University of Technology, No. 193, Tunxi Road, Hefei 230009, China) ,  Wu Kui (School of Instrument Science and Opto-Electronic Engineering, Hefei University of Technology, No. 193, Tunxi Road, Hefei 230009, China) ,  Zhang Liansheng (School of Instrument Science and Opto-Electronic Engineering, Hefei University of Technology, No. 193, Tunxi Road, Hefei 230009, China) ,  Li Ruijun (School of Instrument Science and Opto-Electronic Engineering, Hefei University of Technology, No. 193, Tunxi Road, Hefei 230009, China) ,  Fan Kuang-Chao (School of Instrument Science and Opto-Electronic Engineering, Hefei University of Technology, No. 193, Tunxi Road, Hefei 230009, China) ,  Fan Kuang-Chao (Department of Mechanical Engineering, National Taiwan University, No. 1, Sec.4, Roosevelt Road, Taipei 10617, Taiwan)
資料名： Applied Sciences (Web)  (Applied Sciences (Web))
巻： 7  号： 4  ページ： 403  発行年： 2017年 
JST資料番号： U7135A  ISSN： 2076-3417  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ/ナノ座標測定機を通してサブナノメータ分解能と非常に低い接触力で真の3Dナノ測定を達成するために,水晶音叉に基づく新しい3D共鳴トリガプローブを提案した。このトリガープローブでは,微小球チップを持つ水晶音叉を共振周波数で振動させ,センシング素子として用いた。この石英同調フォーク(例えば,振動振幅と共振周波数)の共鳴パラメータは,外部3D微小力に非常に敏感である。このプローブの識別された特徴は,実際の三方向における試料表面と相互作用する能力である。プローブのミクロスフェア先端はZ方向のタッピングモードで試料表面と相互作用するが,XとY方向の摩擦モードで相互作用する。プローブの動的接触機構は界面力理論に基づいており,X,YおよびZ方向におけるミクロスフェア先端と試料表面間の相互作用の機械的モデルを構築し,シミュレーションした。実験は,プローブが3D方向でサブナノメータ分解能を持ち,各方向で約40nmの再現性を引き起こすことを示した。理論解析と実験結果は,この3D共鳴トリガプローブが真の3Dプロファイル測定に使用できることを検証した。Copyright 2019 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *プローブ ,  音叉 ,  分解能 ,  *共鳴 ,  *三次元 ,  共振周波数 ,  相互作用 ,  再現性 ,  石英 ,  界面 ,  振動振幅 ,  ミクロスフェア ,  同調
準シソーラス用語： 水晶 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 3D共鳴トリガプローブ ,  水晶音叉 ,  界面力 ,  共振振動 ,  マイクロ/ナノCMM ,  3Dプロファイル測定

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (39件)：

• Peggs, G.N.; Lewis, A.J.; Oldfield, S. Design for a compact high-accuracy CMM. CIRP Ann. 1999, 48, 417-420.
• Meli, F.; Fracheboud, M.; Bottinelli, S.; Bieri, M.; Thalmann, R.; Breguet, J.M.; Clavel, R. High precision, low force 3D touch probe for measurements on small objects. In Proceedings of the EUSPEN, International Topical Conference, Aachen, Germany, 19-20 May 2003.
• Küng, A.; Meli, F.; Thalmann, R. Ultraprecision micro-CMM using a low force 3D touch probe. Meas. Sci. Technol. 2005, 18, 319-327.
• Haitjema, H.; Pril, W.O.; Schellekens, P.H.J. Development of a silicon-based nanoprobe system for 3-D measurements. CIRP Ann. 2001, 50, 365-368.
• Pril, W.O. Development of High Precision Mechanical Probes for Coordinate Measuring Machines. Ph.D. Thesis, Technische Universiteit Eindhoven, Eindhoven, The Netherlands, 2002.

タイトルに関連する用語 (4件)： CMM ,  共鳴 ,  トリガ ,  プローブ