大気圧周辺の最大感度を有する高温勾配ナノギャップ-ピラニ微小センサ【JST・京大機械翻訳】

Ghouila-Houri C.; Talbi A.; Viard R.; Moutaouekkil M.; Elmazria O.; Gallas Q.; Garnier E.; Merlen A.; Pernod P.

文献

J-GLOBAL ID：201902239055201840 整理番号：19A1414056

大気圧周辺の最大感度を有する高温勾配ナノギャップ-ピラニ微小センサ【JST・京大機械翻訳】

High temperature gradient nanogap-Pirani micro-sensor with maximum sensitivity around atmospheric pressure

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=19A1414056&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=19A1414056&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0613A") }}

著者 (9件)： , , , , , , , ,
資料名：
巻： 111 号： 11 ページ： 113502-113502-4 発行年： 2017年
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

本論文では,大気圧周辺の最大感度を有する広い範囲での圧力測定のための効率的なナノギャップPiraniマイクロセンサの設計と試験について述べ,検討した。この構造は基板フリー加熱ワイヤと酸化ケイ素マイクロブリッジで作られた機械的支持体を結合し,ワイヤと基板の間の一定のナノスケールギャップと長さ1mm,幅3μmのワイヤの両方を可能にした。ワイヤの高アスペクト比はワイヤに沿って均一な加熱プロファイルを与え,低圧検出に寄与する。反対に,2つのマイクロブリッジの間のナノスケールギャップと短いワイヤ長さの両方が,圧力範囲の高い限界をシフトさせるのに寄与する。10kPaと800kPaの間で試験したとき,このセンサは広い測定範囲を示し,20°Cの過熱による一定温度モードで動作するとき,大気圧に近い最大感度と38%/dec感度までの性能をもつ実験では完全には達成されなかった。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

, , , , , ,
, , , , , 【Automatic Indexing@JST】

プラズマ生成・加熱

, , , , ,

前のページに戻る