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J-GLOBAL ID：201902239502659072   整理番号：19A2110401

微減圧熱プラズマ窒化法によるステンレス材料の表面処理

著者 (5件)： 安藤康高 (足利工大) ,  野田佳雅 (足利工大) ,  小林明 (大阪大) ,  小林明 (チュラロンコン大) ,  小林明 (東大)
資料名： 足利工業大学総合研究センター年報  (Annual Review. Collaborative Research Center, Ashikaga Institute of Technology)
号： 18  ページ： 100-103  発行年： 2017年08月 
JST資料番号： L5803A  資料種別： 年次報告 (Y)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 熱プラズマを用いた高速窒化処理法は古くから研究が行われており,これまで熱プラズマの直接照射により基材表面を溶融させる方法や,真空下で超音速膨張させた高密度低温プラズマを基材に照射する方法などが開発されてきた。しかしながら,これらの方法は基材への熱影響や高額な真空設備コストなどの問題を抱えており,実用化されていないのが現状である。本研究では,簡便な設備で基材への熱影響の少ない高速熱プラズマ窒化処理プロセスの開発を目的として,大気圧プラズマジェット発生装置及び微減圧チャンバーで構成される微減圧プラズマ窒化処理装置を試作し,ステンレス(SUS304)基材の窒化処理を行った。その結果,チャンバー内は微減圧(96kPa)であるが,大気圧化で発生させたプラズマジェットはチャンバー内に吸引された。また,窒化処理後の試料表面には,酸化物は形成されず化合物は窒化物のみであることから,大気の影響を受けずに窒化処理が可能であることが明らかとなった。(著者抄録)

シソーラス用語： *ステンレス鋼 ,  *イオン窒化 ,  熱プラズマ ,  *表面処理 ,  減圧 ,  プラズマジェット ,  酸化物 ,  処理装置 ,  大気プラズマ ,  窒化物 ,  音速 ,  熱影響
準シソーラス用語： 大気圧プラズマジェット ,  超音速 ,  低温プラズマ

分類 (1件)： 表面硬化熱処理  (WC03030E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 減圧 ,  プラズマ窒化法 ,  ステンレス ,  表面処理