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J-GLOBAL ID：201902239586861221   整理番号：19A1699774

計数型SOI TEGの放射光X線による評価(6)

著者 (7件)： 橋本亮 (KEK 物構研) ,  新井康夫 (KEK 素核研) ,  五十嵐教之 (KEK 物構研) ,  熊井玲児 (KEK 物構研) ,  三好敏喜 (KEK 素核研) ,  西村龍太郎 (金沢大) ,  岸本俊二 (KEK 物構研)
資料名： 日本物理学会講演概要集(CD-ROM)  (日本物理学会春季大会講演概要集(CD-ROM))
巻： 74  号： 1  ページ： ROMBUNNO.14aK108-7  発行年： 2019年03月22日 
JST資料番号： S0671C  ISSN： 2189-079X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： KEK/PFではSilicon-On-Insulator (SOI)技術を応用した二次元X線検出器の開発を進めている。酸化膜層を介して二層のシリコンを貼り合わせたSOIウェーファーを用いて作成され、片側の厚いシリコン層をセンサーに...【本文一部表示】

シソーラス用語： *X線検出器 ,  *X線回折 ,  ウエハ【IC】 ,  ディジタル方式 ,  性能評価 ,  放射光施設 ,  放射光X線回折 ,  SOIウェハ
準シソーラス用語： フォトンファクトリー

分類 (1件)： X線回折法  (BK01020I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 計数型 ,  SOI ,  TEG ,  放射光 ,  X線 ,  評価