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J-GLOBAL ID：201902241719611708   整理番号：19A2900217

プラズマ処理したルチルTiO_2(110)単結晶における室温光ルミネセンス【JST・京大機械翻訳】

Room temperature photoluminescence in plasma treated rutile TiO₂ (110) single crystals

著者 (6件)： Tariq Fawad (Department of Physics, COMSATS University Islamabad, Park Road, Islamabad, 45550, Pakistan) ,  Rehman Najeeb ur (Department of Physics, COMSATS University Islamabad, Park Road, Islamabad, 45550, Pakistan) ,  Akhtar Naureen (Department of Physics and Technology, University of Bergen, P.O. Box 7803, N-5020, Bergen, Norway) ,  George Richard E. (Department of Physics, University of Oxford, Denys Wilkinson Building, Keble Rd, Oxford, OX1 3RH, UK) ,  Khan Yaqoob (Nanosciences and Technology Department, National Centre for Physics, Islamabad, 45320, Pakistan) ,  Rahman Shams ur (Department of Physics, COMSATS University Islamabad, Park Road, Islamabad, 45550, Pakistan)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 171  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 欠陥は次世代技術のための金属酸化物の機能特性の調整に重要な役割を果たす。したがって,欠陥の包括的な理解と制御は,材料の欠陥工学戦略を決定し,それらの技術的実現を可能にするために極めて重要である。本論文では,プラズマ処理ルチルTiO_2(110)単結晶からの室温光ルミネセンスを報告した。TiO_2(110)単結晶のルミネセンス特性に及ぼす容量結合無線周波数プラズマエッチングの影響を詳細に検討した。プラズマ処理は,TiO_2(110)単結晶の表面を改質し,近表面領域に酸素空格子点を導入した。処理時間および圧力のような放電パラメータは,処理したTiO_2(110)単結晶のルミネセンス特性と相関した。TiO_2単結晶をエッチングするために用いたプラズマのプラズマ電子密度,イオン密度,電子温度および電子エネルギー確率関数(EEPF)を決定するためにLangmuirプローブ法を用いた。光ルミネセンス(PL)スペクトルは,プラズマ処理過程に依存する強度をもつ青色および緑色発光を明らかにした。プラズマ処理により欠陥を誘起することは,他の金属酸化物表面に拡張されることが期待される。これは,種々の応用において有用性を見出す可能性がある。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： プラズマエッチング ,  電子密度 ,  放電 ,  Langmuir探針 ,  金属酸化物 ,  *プラズマ処理 ,  イオン密度 ,  *光ルミネセンス ,  *ルチル ,  スペクトル ,  加工時間 ,  *単結晶 ,  電子温度 ,  *プラズマ ,  *ルミネセンス

著者キーワード (6件)： 光ルミネセンス ,  ギャップ内状態 ,  二酸化チタン ,  プラズマエッチング ,  酸素空孔 ,  欠陥中心

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマ処理 ,  ルチル ,  単結晶 ,  室温 ,  光ルミネセンス