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J-GLOBAL ID：201902243341474115   整理番号：19A2515852

MC-Siウエハ中のFe不純物の拡散と偏析に関するMoessbauer分光顕微鏡研究【JST・京大機械翻訳】

Mossbauer spectroscopic microscope study on diffusion and segregation of Fe impurities in mc-Si wafer

著者 (6件)： Yoshida Yutaka (Shizuoka Institute of Science and Technology, Fukuroi, Japan) ,  Watanabe Tomio (Shizuoka Institute of Science and Technology, Fukuroi, Japan) ,  Ino Yuji (Shizuoka Institute of Science and Technology, Fukuroi, Japan) ,  Kobayashi Masashi (Shizuoka Institute of Science and Technology, Fukuroi, Japan) ,  Takahashi Isao (Graduate School of Engineering and School of Engineering, Nagoya University Furo-cho, Nagoya, Japan) ,  Usami Noritaka (Graduate School of Engineering and School of Engineering, Nagoya University Furo-cho, Nagoya, Japan)
資料名： Hyperfine Interactions  (Hyperfine Interactions)
巻： 240  号： 1  ページ： 1-8  発行年： 2019年 
JST資料番号： H0639A  ISSN： 0304-3843  CODEN： HYINDN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： mc-Si結晶におけるFe拡散と偏析過程を「Moessbauer分光顕微鏡(MSM)」により調べた。これにより,数μmの空間分解能でmc-Si中の異なるFe化学状態に対してFe拡散プロフィルを別々に測定することができた。この新しい方法は,相互作用により強く影響される拡散過程を調べる可能性と,材料の異なる結晶粒における転位,結晶粒界,残留応力などの格子欠陥との相互作用により強く影響される。Copyright 2019 Springer Nature Switzerland AG Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 相互作用 ,  *偏析 ,  結晶粒界 ,  結晶粒 ,  *鉄 ,  拡散過程 ,  結晶 ,  *Moessbauer分光法 ,  空間分解能 ,  *ケイ素 ,  残留応力 ,  格子欠陥 ,  *不純物
準シソーラス用語： 化学状態 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： メスバウアー分光顕微鏡 ,  イメージング技術 ,  MC-Si中のFe拡散 ,  Si太陽電池における鉄汚染

分類 (2件)： 蛋白質・ペプチド一般  (EB03010N) ,  分子構造  (EB03020Y)

タイトルに関連する用語 (9件)： MC ,  Siウエハ ,  Fe ,  不純物 ,  拡散 ,  偏析 ,  分光 ,  顕微鏡 ,  研究