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J-GLOBAL ID：201902247209007698   整理番号：19A0491713

HFCVD法で合成した微結晶ダイヤモンド粉末の成長速度に及ぼす堆積パラメータの影響【JST・京大機械翻訳】

The Effect of Deposition Parameters on the Growth Rate of Microcrystalline Diamond Powders Synthesized by HFCVD Method

著者 (2件)： Zhang Tao (Mechanical Institute of Technology, Wuxi Institute of Technology, Wuxi 214122, China) ,  Zou Ye (Mechanical Institute of Technology, Wuxi Institute of Technology, Wuxi 214122, China)
資料名： Coatings (Web)  (Coatings (Web))
巻： 7  号： 7  ページ： 95  発行年： 2017年 
JST資料番号： U7162A  ISSN： 2079-6412  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 通常のダイヤモンド粉末(<10μm)は,高圧および高温(HPHT)法により合成された大型ダイヤモンドの粉砕から一般的に製造されるが,多くの形態的不完全性を有する。本研究では,これらの粉末をダイヤモンド種として用い,熱フィラメント化学蒸着(HFCVD)により再成長させた。ミクロンダイヤモンドのホモエピタキシャル成長速度で決定された役割を果たす炭素濃度,基板温度,バイアス電流などの堆積パラメータをそれぞれの通常の範囲で調べた。実験結果で示されたように,結晶の良好な形態を維持し,多結晶成長を抑制する前提条件下で,孤立ダイヤモンド結晶の成長速度を0.9μm/hで制御できた。さらに,最終的に改良された粉末は広い範囲の粒子サイズを有しており,ふるい分けの後工程なしに商業的な粉体の要求を満たすことができなかった。Copyright 2019 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 多結晶 ,  *ダイヤモンド ,  *成長速度 ,  不整 ,  高温 ,  高圧 ,  *微結晶 ,  エピタクシー ,  粒度 ,  形態 ,  ふるい分け ,  *粉体 ,  基板温度 ,  *パラメータ
準シソーラス用語： 再成長 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： CVDダイヤモンド粉末 ,  堆積パラメータ ,  ホモエピタキシャル成長速度 ,  粒度分布

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  その他の無機化合物の結晶成長  (BK13060T)

引用文献 (15件)：

• Chung, H.K.; Sung, J.C. The CVD growth of micro crystals of diamond. Diam. Relat. Mater. 2001, 10, 1584-1587.
• Liu, X.; Jia, X.; Ma, H.; Han, W.; Guo, X.; Jia, H. HPHT Synthesis of high-quality diamond single crystals with micron grain Size. Chin. Phys. Lett. 2009, 26, 038102.
• Silva, F.; Achard, J.; Brinza, O.; Bonnin, X.; Hassouni, K.; Anthonis, A.; De Corte, K.; Barjon, J. High quality, large surface area, homoepitaxial MPACVD diamond growth. Diam. Relat. Mater. 2009, 18, 683-697.
• Friel, I.; Clewes, S.L.; Dhillon, H.K.; Perkins, N.; Twitchen, D.J.; Scarsbrook, G.A. Control of surface and bulk crystalline quality in single crystal diamond grown by chemical vapour deposition. Diam. Relat. Mater. 2009, 18, 808-815.
• Yamazaki, K.; Furuichi, K.; Tsumura, I.; Takagi, Y. The large-sized diamond single-crystal synthesis by hot filament CVD. J. Cryst. Growth 2008, 310, 1019-1022.

タイトルに関連する用語 (6件)： HFCVD ,  微結晶 ,  ダイヤモンド粉末 ,  成長速度 ,  堆積 ,  パラメータ