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J-GLOBAL ID:201902247510344860   整理番号:19A0451539

ミラー対称液体リングチャネルとMEMS圧電抵抗カンチレバーを用いた高感度で低漏話の角加速センサ【JST・京大機械翻訳】

Highly sensitive and low-crosstalk angular acceleration sensor using mirror-symmetric liquid ring channels and MEMS piezoresistive cantilevers
著者 (7件):
資料名:
巻: 287  ページ: 39-47  発行年: 2019年 
JST資料番号: B0345C  ISSN: 0924-4247  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,液体リングチャネルとピエゾ抵抗カンチレバーを用いた角加速度センサについて述べた。流体回転の検出は,簡単な構造による角加速のセンシング原理として注目されている。このセンシング原理を用いる既存の角加速度センサは,ターゲット軸についての角度加速に対する高感度の可能性を有するが,クロストークは,他の軸についての角加速度と線形加速度を伴うクロストークである。ここでは,センシング素子としてMEMS圧電抵抗カンチレバーと2つのミラー対称リングチャネルを用いる角度加速度センサを提案した。このミラー対称性は,他の軸についての加速による信号を相殺するが,ターゲット軸についての角加速に対する信号は2倍になる。実験結果は,他の軸方向角加速度と線形加速度に対する感度が十分小さいことを示した。得られた角度加速度に対する感度は3.1×10-4(rad/s~2)-1と高く,理論的予測と類似していた。感度に対するこの値は,0.1Hzから100Hzまでの周波数範囲にわたって維持される。したがって,提案したセンサは実用的な角加速度検出応用に適している。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器 

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