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J-GLOBAL ID：201902248410452879   整理番号：19A1413717

分子ビームエピタクシー成長β-Ga_2O_3金属半導体金属太陽ブラインド深紫外検出器における高応答性【JST・京大機械翻訳】

High responsivity in molecular beam epitaxy grown β-Ga₂O₃ metal semiconductor metal solar blind deep-UV photodetector

著者 (7件)： Singh Pratiyush Anamika (Centre for Nano Science and Engineering (CeNSE), Indian Institute of Science (IISc), Bangalore 560012, India) ,  Krishnamoorthy Sriram (Department of Electrical and Computer Engineering, The Ohio State University, Columbus, Ohio, 43210, USA) ,  Vishnu Solanke Swanand (Centre for Nano Science and Engineering (CeNSE), Indian Institute of Science (IISc), Bangalore 560012, India) ,  Xia Zhanbo (Department of Electrical and Computer Engineering, The Ohio State University, Columbus, Ohio, 43210, USA) ,  Muralidharan Rangarajan (Centre for Nano Science and Engineering (CeNSE), Indian Institute of Science (IISc), Bangalore 560012, India) ,  Rajan Siddharth (Department of Electrical and Computer Engineering, The Ohio State University, Columbus, Ohio, 43210, USA) ,  Nath Digbijoy N. (Centre for Nano Science and Engineering (CeNSE), Indian Institute of Science (IISc), Bangalore 560012, India)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 110  号： 22  ページ： 221107-221107-5  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報告では,MBE成長エピタキシャルβ-Ga_2O_3ベース太陽ブラインド金属-semiconductor-金属(MSM)光検出器(PD)における高いスペクトル応答性(SR)を実証した。c面サファイア基板上にプラズマ支援MBEを用いて(-201)配向β-Ga_2O_3薄膜を成長させた。交差指形構造のNi/Au接触で作製したMSM素子は,UVが可視除去率>10~5で,4Vのバイアスで236~240nmでピークSR>1.5A/Wを示すことが分かった。素子は20Vで非常に低い暗電流<10nAを示し,光から暗電流比>10~3の鋭い過渡現象から明らかなように持続的な光伝導(PPC)を示さなかった。これらの結果は,MBE成長β-Ga_2O_3MSM太陽ブラインド検出器に対する最先端性能を示した。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *太陽 ,  *エピタクシー ,  暗電流 ,  過渡現象 ,  薄膜 ,  *MBE成長 ,  ニッケル ,  *紫外検出器 ,  バイアス ,  *半導体 ,  *金 ,  プラズマ ,  *金属 ,  光伝導
準シソーラス用語： スペクトル応答 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 光伝導,光起電力  (BM03050J) ,  電気光学効果,磁気光学効果  (BM08020L)

タイトルに関連する用語 (6件)： 分子ビームエピタクシー成長 ,  太陽 ,  ブラインド ,  深紫外 ,  検出器 ,  応答性