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J-GLOBAL ID：201902249279083580   整理番号：19A1742872

ナノ技術・ナノ材料の展開 有機金属分解(MOD)法によるナノ構造無機化合物薄膜コーティング技術

著者 (2件)： 菅原徹 (大阪大 産科研) ,  渡邊厚介 (名古屋工大 大学院工学研究科)
資料名： JETI  (JETI)
巻： 67  号： 8  ページ： 11-15  発行年： 2019年07月22日 
JST資料番号： F0013B  ISSN： 0289-4343  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・太陽電池の緩衝層やガスセンサなどの応用に向けた有機金属分解(MOD)法による酸化物や酸窒化物コーティング技術の紹介。
・モリブデン酸アンモニウムと安定剤クエン酸を用い,10sスピンコーティングし,400°Cで焼結して得られるナノ構造の酸化モリブデンのSiO₂基板における成長。
・チタンテトライソプロポキシドと安定剤エチレンジアミン,クエン酸を用い,SiO₂基板にスピンコーティングした後,大気中400~800°Cにおける酸化チタン薄膜構造体の作製。
・前駆体溶液をSiO₂基板にコーティングし,アンモニアガス流通下,200~800°Cで焼結することによるMODを用いたナノ構造薄膜技術の応用としての酸窒化物(TiO_xN_y)コーティング技術。

シソーラス用語： *溶液成長 ,  酸化モリブデン ,  酸化チタン ,  *スピンコーティング ,  アンモニウム化合物 ,  モリブデン酸塩 ,  ウエハ【IC】 ,  酸化物 ,  窒化物 ,  *薄膜成長
準シソーラス用語： *有機金属分解法 ,  モリブデン酸アンモニウム ,  酸窒化物

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (1件)： チタンテトライソプロポキシド

タイトルに関連する用語 (8件)： ナノ材料 ,  展開 ,  有機金属 ,  分解 ,  法 ,  ナノ構造 ,  無機化合物 ,  薄膜コーティング