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J-GLOBAL ID：201902249754094187   整理番号：19A1519302

金型の表面改質 フィルタードアークで創るDLC膜とその応用

著者 (2件)： 滝川浩史 (豊橋技科大 電気・電子情報工学系) ,  針谷達 (豊橋技科大 電気・電子情報工学系)
資料名： Mechanical Surface Tech  (Mechanical Surface Tech)
号： 50  ページ： 24-26  発行年： 2019年06月25日 
JST資料番号： L8462A  ISSN： 2758-1608  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・スーパーDLCを形成するフィルタードアーク蒸着装置,DLCの分類,フィルタードアーク蒸着装置で形成したDLCの応用について概観。
・DLC膜の工業的製造装置はプラズマCVDと真空アーク蒸着(アークイオンプレーティング)があり,原料として前者は炭化水素ガスを使用し,後者は固体黒鉛を使用。
・プラズマCVDのDLCは水素含有であり,真空アーク蒸着は硬質・高密度水素フリーDLCを形成できる利点があるが,陰極材料から微粒子の放出があるので,対策にT字状フィルタードアーク蒸着装置を開発。
・DLC膜は1)水素含有なしsp³構造リッチ(ta-C),2)水素含有なしsp²構造リッチ(a-C),3)水素含有sp³構造リッチ(ta-C:H),4)水素含有sp²構造リッチ(ta-C:H)の4種に大別。
・1)のDLC膜をスーパーDLCと称し,その実用的応用はガラスレンズ成形用金型,ドライ切削用工具,冷間プレス金型,CFRP切削用ダイヤコート工具。

シソーラス用語： 金型 ,  表面改質 ,  *DLC膜 ,  アーク放電 ,  レンズ ,  蒸着装置 ,  *イオンめっき ,  プラズマCVD ,  マグネトロンスパッタリング ,  押込硬さ ,  ナノインデンテーション ,  プレス金型 ,  炭素繊維強化プラスチック ,  切削工具 ,  乾式切削
準シソーラス用語： ガラスレンズ ,  *フィルタードアーク蒸着 ,  真空アーク蒸着

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  気相めっき  (WC08022K)

引用文献 (9件)：

• X. Zhou, et al : Diam. Relat. Mater., 73, 232 (2017).
• 瀧、他:光技術コンタクト、52,15(2014).
• 登録商標5488005:滝川浩史、株式会社オンワード技研、株式会社フリクション
• 滝川:天田財団Form Tech Review,26,94(2016).
• 滝川:プラズマ・核融合学会誌、92,466(2016).

タイトルに関連する用語 (4件)： 金型 ,  表面改質 ,  DLC膜 ,  応用