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J-GLOBAL ID:201902251592587467   整理番号:19A0006453

Hot-wall法で成膜したBiI3薄膜の成膜速度及び基板温度依存性

Evaporation-rate and substrate-temperature dependence of BiI3 thin films grown by a hot-wall technique
著者 (4件):
資料名:
巻: 29th  ページ: 113-116  発行年: 2018年 
JST資料番号: L3956A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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半導体薄膜 
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