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J-GLOBAL ID:201902252920543961   整理番号:19A0491570

超短レーザパルスにより支援されたCVDダイヤモンドの表面テクスチャリング【JST・京大機械翻訳】

Surface Texturing of CVD Diamond Assisted by Ultrashort Laser Pulses
著者 (5件):
資料名:
巻:号: 11  ページ: 185  発行年: 2017年 
JST資料番号: U7162A  ISSN: 2079-6412  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)
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ダイヤモンドは,極端な条件下で動作することを可能にする優れた物理的性質をもつ広いバンドギャップ半導体である。しかし,ダイヤモンドの技術的利用は,紫外線,電離放射線および核検出器,電子放出体,およびパワーエレクトロニクスデバイスの製造のために主に考えられている。ナノ秒パルスエキシマレーザの使用はダイヤモンド表面の微細構造化を可能にし,ダイヤモンドのナノ構造化のために二光子表面励起による黒鉛化とエッチングによる制御アブレーションのような微細化技術が利用されている。一方,超短パルスレーザは,ナノスケールでの周期構造の形成に基づいて,効果的な表面ナノ構造化だけでなく,熱効果の低減により,より正確なダイヤモンド微細構造化の道を開いた。これはダイヤモンドの光学的および電子的性質の劇的な改良をもたらし,その中で「黒ダイヤモンド」膜は将来の高温太陽電池のための例であり,先進的なオプトエレクトロニクスプラットホームに対する例である。ダイヤモンドのナノ構造化に関する実験はほぼ20年前に始まったが,実際の応用は今日のみ実施中である。Copyright 2019 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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レーザ照射・損傷 
引用文献 (91件):
タイトルに関連する用語 (4件):
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