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J-GLOBAL ID：201902254279670028   整理番号：19A2913783

ファブリ・ペロー干渉計によるマイクロ片持ち梁熱振動の計測

著者 (4件)： 辻家祐介 (福岡工大 大学院) ,  河村良行 (福岡工大 大学院) ,  日野史也 (福岡工大) ,  丸林真也 (福岡工大)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム(CD-ROM))
巻： 8th  ページ： ROMBUNNO.31pm3-PN-2  発行年： 2017年 
JST資料番号： L8358B  ISSN： 2432-9495  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 巨視的な物体の量子基底状態の零点振動は,熱振動に埋もれているため,これまで計測が実現されていない.本研究は,原子間力顕微鏡に用いられるマイクロ片持ち梁の熱振動を,フィードバック制振により取り除き,零点振動計測を実現することを最終的な目的とする.近年の研究によりS/Nが熱振動制振の限界を決定する主たる要因となることが明らかとなった.本研究ではファブリ・ペロー干渉計を用いることで,梁の微小振動の高感度な計測に成功した.高感度化に伴いノイズレベルが低減し,零点振動計測へ近づくことができた.(著者抄録)

シソーラス用語： *Fabry-Perot干渉計 ,  *片持梁 ,  振動 ,  *振動測定 ,  原子間力顕微鏡 ,  防振 ,  雑音低減
準シソーラス用語： 熱振動 ,  微小振動 ,  *微小片持梁

分類 (2件)： 梁,桁  (HD03020H) ,  振動の励起・発生・測定  (BB02030Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： ファブリ・ペロー干渉計 ,  片持ち梁 ,  熱振動 ,  計測