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J-GLOBAL ID：201902255938536791   整理番号：19A2913691

バイモルフ型PZT圧電薄膜MEMSマイクロフォンの作製

著者 (3件)： 福本尚輝 (神大) ,  肥田博隆 (神大) ,  神野伊策 (神大)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム(CD-ROM))
巻： 8th  ページ： ROMBUNNO.01am2-PN-97  発行年： 2017年 
JST資料番号： L8358B  ISSN： 2432-9495  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,圧電MEMSマイクロフォンの感度向上のため,PZT薄膜バイモルフMEMSマイクロフォンを作製した.有限要素解析により寸法は幅1000μm,長さ280μmと決定した.厚さ1μmのPZT薄膜を二層,RFマグネトロンスパッタ法により成膜し,ドライエッチングによりカンチレバー型に加工した.周波数応答を評価するために,負の交流電圧を印加してデバイスを振動させ振動振幅を測定した.また,圧電マイクロフォンは音圧を印加した際の正圧電効果による出力信号がみられ,音圧に比例して増加する出力信号を確認した.(著者抄録)

シソーラス用語： ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *薄膜 ,  *MEMS ,  *マイクロホン ,  片持梁 ,  感度 ,  数値解析 ,  周波数応答 ,  信号 ,  振動試験
準シソーラス用語： バイモルフ ,  *圧電薄膜 ,  出力信号 ,  有限要素解析

分類 (1件)： オーディオ機器  (NC06010U)

タイトルに関連する用語 (6件)： バイモルフ ,  PZT ,  圧電薄膜 ,  MEMS ,  マイクロフォン ,  作製