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J-GLOBAL ID：201902255971886038   整理番号：19A2159522

‘スパッタ-アニール法による溶解度限界を超えたBa_1-_x Ca_x TiO_3固溶体の形成【JST・京大機械翻訳】

Formation of Ba_{1- x} Ca _x TiO₃ solid solutions beyond the solubility limit by ‘sputter-anneal’ method

著者 (6件)： Ako Miho (Division of Molecular Science, Graduate School of Science and Technology, Gunma University, 1-5-1 Tenjin-cho, Kiryu, Gunma 376-8515, Japan) ,  Kogure Takeshi (Division of Molecular Science, Graduate School of Science and Technology, Gunma University, 1-5-1 Tenjin-cho, Kiryu, Gunma 376-8515, Japan) ,  Kobayashi Yumie (Division of Molecular Science, Graduate School of Science and Technology, Gunma University, 1-5-1 Tenjin-cho, Kiryu, Gunma 376-8515, Japan) ,  Kyomen Toru (Division of Molecular Science, Graduate School of Science and Technology, Gunma University, 1-5-1 Tenjin-cho, Kiryu, Gunma 376-8515, Japan) ,  Fujisawa Jun-ichi (Division of Molecular Science, Graduate School of Science and Technology, Gunma University, 1-5-1 Tenjin-cho, Kiryu, Gunma 376-8515, Japan) ,  Hanaya Minoru (Division of Molecular Science, Graduate School of Science and Technology, Gunma University, 1-5-1 Tenjin-cho, Kiryu, Gunma 376-8515, Japan)
資料名： Thermochimica Acta  (Thermochimica Acta)
巻： 679  ページ： Null  発行年： 2019年 
JST資料番号： E0350C  ISSN： 0040-6031  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 溶解度限界を超えてBa_1_xCa_xTiO_3固溶体を製造するために,基板を加熱せずに石英ガラス基板上に0から1までの組成xの(BaTiO_3)_1_x(CaTiO_3)_xのターゲットを用いてrfマグネトロンスパッタリングを行った。スパッタリングにより作製したままの膜試料は非晶質構造を持つことを確認した。作製したままの非晶質膜試料を800°Cの低温で3時間アニーリングすることにより,結晶化が試料中で進行し,相分離なしに全組成範囲でBa_1-_xCa_xTiO_3固溶体を得ることに成功した。形成した固溶体の誘電率は特異なCa組成依存性を示した。この依存性はBa2+イオンで置換したCa2+イオン周辺の余分な空間の形成によって良く説明できた。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： スパッタリング ,  マグネトロンスパッタリング ,  低温 ,  非晶質 ,  石英ガラス ,  誘電率 ,  相分離 ,  *カルシウム ,  結晶化 ,  *溶解度 ,  *焼なまし ,  *固溶体 ,  組成依存性 ,  非晶質膜 ,  非晶質構造

著者キーワード (5件)： チタン酸バリウムカルシウム固溶体 ,  スパッタリング ,  アモルファス ,  アニーリング ,  結晶化

分類 (3件)： 有機物質からなる多成分系の相平衡・状態図  (CB03016J) ,  無機物質からなる多成分系の相平衡・状態図  (CB03015S) ,  その他の物質の多成分系の相平衡・状態図  (CB03017A)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ ,  アニール ,  溶解度 ,  限界 ,  固溶体