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J-GLOBAL ID：201902256700168780   整理番号：19A0488445

異なる結晶成長法により作製した単結晶ダイヤモンドのレーザ照射応答【JST・京大機械翻訳】

Laser Irradiation Responses of a Single-Crystal Diamond Produced by Different Crystal Growth Methods

著者 (2件)： Takayama Nozomi (Department of Mechanical Engineering, Keio University, Hiyoshi 3-14-1 Kohoku, Yokohama, Kanagawa 223-8522, Japan) ,  Yan Jiwang (Department of Mechanical Engineering, Keio University, Hiyoshi 3-14-1 Kohoku, Yokohama, Kanagawa 223-8522, Japan)
資料名： Applied Sciences (Web)  (Applied Sciences (Web))
巻： 7  号： 8  ページ： 815  発行年： 2017年 
JST資料番号： U7135A  ISSN： 2076-3417  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 化学蒸着(CVD)と高圧高温合成(HPHT)法により調製した2種類の単結晶ダイヤモンドのナノ秒パルスネオジミウムドープイットリウムアルミニウムガーネット(Nd:YAG)レーザに対する応答を調べ,比較した。透過速度と屈折率の差により,二つのタイプの試料のレーザ誘起表面/表面下特徴は明確に異なることが分かった。CVD試料では,破壊的な干渉が上部表面で起こり,グラファイトの堆積による滑らかな溝の直接アブレーションをもたらす。しかしながら,HPHT試料では,レーザの構成的干渉現象と材料の高屈折率のために,レーザ照射表面(すなわち,低表面)の逆側にレーザ誘起溝が形成された。逆側照射により,粗い底面を持つ深くて鋭い溝が形成され,溝を囲む領域にグラファイトがわずかに堆積した。両タイプのダイヤモンドの上部および下部表面に対する加工閾値を実験的に求め,理論的に検証した。本研究の知見は,異なる種類のダイヤモンドのレーザ加工のための重要なプロセス基準を提供する。逆側照射法は,低出力レーザを用いてダイヤモンド中の深い溝の効率的な加工を可能にする。Copyright 2019 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *レーザ照射 ,  *結晶成長 ,  グラファイト ,  レーザ加工 ,  アブレーション ,  干渉 ,  *レーザ ,  屈折率 ,  化学蒸着 ,  *ダイヤモンド
準シソーラス用語： レーザ誘起 ,  *単結晶ダイアモンド , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 単結晶ダイヤモンド ,  レーザ照射 ,  マイクロマシニング ,  相変態 ,  黒鉛化 ,  結晶欠陥

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  レーザの応用  (BD04100V) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

引用文献 (37件)：

• Konrad, W.; Claus, D.; Marcel, H.; Christian, W. Laser Prepared Cutting Tools. Phys. Procedia 2012, 39, 240-248.
• Plano, L.S.G. Growth of CVD Diamond for Electronic Applications. In Diamond: Electronic Properties and Applications, 1st ed.; Pan, L.S., Kania, D.R., Eds.; Springer: New York, NY, USA, 1995; pp. 61-138.
• Tabor, D. Mohs’s Hardness Scale-A Physical Interpretation. Proc. Phys. Soc. Lond. B 1954, 67, 249-257.
• Field, J.E.; Pickles, C.S.J. Strength, fracture and friction properties of diamond. Diam. Relat. Mater. 1996, 5, 625-634.
• Berman, R. Physical Properties of Diamond; Clarendon Press: London, UK, 1965; pp. 140-154.

タイトルに関連する用語 (5件)： 結晶成長 ,  作製 ,  単結晶ダイヤモンド ,  レーザ照射 ,  応答