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J-GLOBAL ID：201902258231178334   整理番号：19A1303513

窒化ガリウム中の微量元素定量に先立つ液体中のレーザアブレーションによる微粒化および化学組成変化

Atomization and Changes in Chemical Composition by Laser Ablation in Liquid prior to Determination of Trace Elements in Gallium Nitride

著者 (2件)： HIROSAWA Koki (Faculty of Science and Engineering, Department of Applied Chemistry, Chuo University) ,  FURUTA Naoki (Faculty of Science and Engineering, Department of Applied Chemistry, Chuo University)
資料名： Analytical Sciences  (Analytical Sciences)
巻： 35  号： 5  ページ： 557-563(J-STAGE)  発行年： 2019年 
JST資料番号： G0673B  ISSN： 0910-6340  CODEN： ANSCEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 耐火材料である単結晶窒化ガリウム(GaN)中に含まれる微量元素を,液体中のレーザアブレーション(LAL)サンプリングによる誘導結合プラズマ質量分析で決定した。動的光散乱による粒子サイズ分析によってLALが単結晶GaNを微粒化したことを確認し,走査電子顕微鏡法/エネルギー分散X線分光法によって,LALサンプリングがGaNを酸化ガリウム粒子に変換したことを明らかにした。微粒化と化学組成変化によって,塩酸または硫酸,マイクロ波分解システムおよび高圧容器に代えて,硝酸とホットプレートで採取した粒子を容易に分解できた。微量元素分析により,単結晶GaN中に微量のMg,Ge,YおよびCdが存在することが明らかになり,これらの元素の検出限界は0.1~2mgkg^-1であった。LAL試料採取の欠点である使用試料量の少なさに由来する不確実性は,主要元素Gaの濃度を測定してアブレーションされた試料量を計算することによって低減された。この解析手法を用いることにより,他の耐火材料の微量元素プロファイルを決定できることが期待される。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *窒化ガリウム ,  *単結晶 ,  *元素分析 ,  *ICP-MS分析 ,  動的光散乱 ,  *微粒化 ,  電子顕微鏡観察 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  硝酸 ,  マグネシウム ,  イットリウム ,  カドミウム ,  ゲルマニウム ,  検出限界 ,  耐火材料 ,  解析 ,  化学組成
準シソーラス用語： エネルギー分散X線分光法 ,  *レーザアブレーション誘導結合プラズマ質量分析 ,  走査電子顕微鏡観察 ,  *微量元素分析 ,  不確実性解析

著者キーワード (4件)： 窒化ガリウム ,  液体中のレーザアブレーション ,  ICPMS ,  不確実性計算

分類 (3件)： 無機物質中の元素の物理分析  (CC03022H) ,  レーザの応用  (BD04100V) ,  塩  (CD01050V)

引用文献 (24件)：

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• 3. S. P. DenBaars, D. Feezell, K. Kelchner, S. Pimputkar, C. C. Pan, C. C. Yen, S. Tanaka, Y. Zhao, N. Pfaff, R. Farrell, M. Iza, S. Keller, U. Mishra, J. S. Speck, and S. Nakamura, Acta Mater., 2013, 61, 945.
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• 5. A. S. Abdelrahman, Z. Erdem, Y. Attia, and M. Youßef, Can. J. Elect. Comput. Eng., 2018, 41(1), 45.

タイトルに関連する用語 (7件)： 窒化ガリウム ,  微量元素 ,  定量 ,  液体中 ,  レーザアブレーション ,  微粒化 ,  化学組成