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J-GLOBAL ID:201902258906666627   整理番号:19A2114673

微分抵抗低減のための埋め込みリッジ導波路型GaInAsP/InP膜分布反射器レーザ【JST・京大機械翻訳】

Buried-ridge-waveguide Type GaInAsP/InP Membrane Distributed-Reflector Lasers for Reduction of Differential Resistance
著者 (7件):
資料名:
巻: 2019  号: CSW  ページ:発行年: 2019年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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オンチップ光相互接続の光源として,低消費電力動作の膜分布帰還形(DR)レーザを研究した。今回は,直列抵抗を低減するために,埋め込みリッジ導波路(BRW)構造を採用することにより,膜DRレーザのエネルギー消費をさらに改善するようにした。(a)平坦型(従来型)埋込みヘテロ構造と(b)BRW構造のモード分布を調べ,p側電極と活性領域間の距離,およびそれらの微分抵抗を計算した。理論計算の結果,微分抵抗は30μmのDFB断面長,リッジ高さd=50nm,傾斜メサ幅Wd<0.5μmに対して180Ωに低減でき,この値は平坦型BH構造のそれより約40%小さい。このようなBRW構造を実現するために,OMVPEによりGaInAsマーカー層を挿入することにより,InPの成長期間を制御した。結果として,リッジ高さd=50nmおよび傾斜メサ幅Wd=0.2μmのBRW構造を,4.6分の成長時間で得ることに成功した。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
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図形・画像処理一般  ,  半導体レーザ 

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