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J-GLOBAL ID：201902259915988557   整理番号：19A1655827

RFマグネトロンスパッタリングによりサファイア基板上に堆積した[数式:原文を参照]薄膜のパワー依存物理特性【JST・京大機械翻訳】

Power-dependent physical properties of [Formula : see text] thin films deposited on sapphire substrates by RF magnetron sputtering

著者 (2件)： Mantarci Asim (Department of Physics, Faculty of Art and Science, Mus Alparslan University, Mus, Turkey) ,  Kundakci Mutlu (Department of Physics, Faculty of Science, Atatuerk University, Erzurum, Turkey)
資料名： Bulletin of Materials Science  (Bulletin of Materials Science)
巻： 42  号： 5  ページ： 1-12  発行年： 2019年 
JST資料番号： T0142A  ISSN： 0250-4707  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒化ガリウム[数式:原文を参照]薄膜を種々のRFパワー下で高周波(RF)マグネトロンスパッタリングを用いて[数式:原文を参照]基板上に成長させた。[数式:原文を参照]薄膜成長とその物理的性質に及ぼすRFパワーの影響を調べるために多くの実験技術を用いた。X線回折結果は,[数式:原文を参照]薄膜が[数式:原文を参照]と[数式:原文を参照]の面を有する多結晶構造を有することを確認した。薄膜の構造パラメータはRFパワーで変化した。[数式:原文を参照]薄膜の光学バンドギャップエネルギーはRFパワーの変化により変化することも分かった。原子間力顕微鏡画像から,[数式:原文を参照]薄膜のほとんど均一で,ナノ構造で低粗い表面が観察された。走査電子顕微鏡分析から,[数式:原文を参照]薄膜の表面のいくつかの領域で転位と凝集が観察された。[数式:原文を参照]の[数式:原文を参照]光学フォノンモードを観測し,薄膜の六方晶構造を証明した。[数式:原文を参照]薄膜の残留応力をRaman測定から計算した。さらに,実験測定間の一致も調べた。[数式:原文を参照]薄膜の形態的,構造的,光学的性質はRFパワーを変えることにより改善できた。これらの膜は発光ダイオード,太陽電池,ダイオード応用などのデバイスに使用できる。Copyright 2019 Indian Academy of Sciences Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 薄膜成長 ,  六方晶系 ,  X線回折 ,  発光ダイオード ,  ナノ構造 ,  残留応力 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  多結晶 ,  *薄膜 ,  *サファイア ,  形態 ,  窒化ガリウム ,  *基板 ,  太陽電池 ,  画像

著者キーワード (5件)： GaN ,  III-窒化物 ,  無線周波数 ,  サファイア ,  RFマグネトロンスパッタリング

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (8件)： RFマグネトロンスパッタリング ,  サファイア基板 ,  堆積 ,  数式 ,  参照 ,  薄膜 ,  パワー ,  物理特性