文献
J-GLOBAL ID:201902261533713812
整理番号:19A2094405
焦点同調と駆動アクチュエータと完全に集積した高分解能圧電MEMSスキャナ【JST・京大機械翻訳】
High-Resolution Piezoelectric Mems Scanner Fully Integrated With Focus-Tuning and Driving Actuators
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著者 (4件):
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資料名:
巻:
2019
号:
TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII
ページ:
474-477
発行年:
2019年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本論文では,焦点調整可能なMEMSスキャナ用の自己変形可能な可変焦点MEMSミラーを提案した。圧電アクチュエータを直径4mmのミラー上にモノリシックに集積し,その焦点を印加DC電圧に従って-120mmから+140mmに変化させた。提案したスキャナの最大光学走査角度は26.2°で,高分解能レーザ走査応用の要求を満たした。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (1件):
分類
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図形・画像処理一般
タイトルに関連する用語 (8件):
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