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J-GLOBAL ID：201902261578183534   整理番号：19A2408741

室温でのLiNbO_3とSiCウエハの直接ボンディング【JST・京大機械翻訳】

Direct bonding of LiNbO₃ and SiC wafers at room temperature

著者 (2件)： Takigawa Ryo (Graduate School of Information Science and Electrical Engineering, Kyushu University, 744 Motooka, Nishi-ku, Fukuoka 819-0395, Japan) ,  Utsumi Jun (Advanced Manufacturing System Research Center, Mitsubishi Heavy Industries Machine Tool Co., Ltd., 130 Rokujizo, Ritto-shi, Shiga 520-3080, Japan)
資料名： Scripta Materialia  (Scripta Materialia)
巻： 174  ページ： 58-61  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0915A  ISSN： 1359-6462  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： LiNbO_3とSiCの直接結合への表面活性化結合(SAB)法の応用を研究した。アルゴン高速原子ビーム衝撃を用いたSABは初めて室温で結合したLiNbO_3/SiCウエハの形成に成功した。断面透過型電子顕微鏡(TEM)観察は原子レベルでボイドのない結合界面を示した。接合界面は数ナノメータの厚さの非晶質様層を有し,これは衝撃過程で形成されると考えられた。結果として得られたLiNbO_3/SiC構造は,温度補償と放熱要件の両方を満たすことができる高出力応用に使用するための表面音響波フィルタを含む種々のデバイスの新しい構成を実現するために利用できる。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 弾性表面波 ,  熱放射 ,  フィルタ ,  原子ビーム ,  高速度 ,  衝撃 ,  温度補償 ,  アルゴン ,  *炭化ケイ素 ,  非晶質
準シソーラス用語： 高出力 ,  接合界面 ,  表面活性化 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： LiNbO3/SiC構造 ,  室温ボンディング ,  表面活性化結合法

分類 (2件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  繊維強化金属  (WE04040C)

タイトルに関連する用語 (4件)： 室温 ,  SiC ,  ウエハ ,  ボンディング