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J-GLOBAL ID：201902263998821593   整理番号：19A0036783

微細構造の破壊強度試験のための熱アクチュエータに基づくデュアルパラメータオンチップ試験プラットフォーム【JST・京大機械翻訳】

A dual-parameter on-chip test platform based on thermal actuator for testing fracture strength of microstructure

著者 (5件)： Chen Zikun (College of Physics and Information Engineering, Fuzhou University, Fujian, 350002, China) ,  Fan Zexin (Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing, 100871, China) ,  Yang Fang (Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing, 100871, China) ,  Shi Longzhao (College of Physics and Information Engineering, Fuzhou University, Fujian, 350002, China) ,  Zhang Dacheng (Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing, 100871, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： ICSICT  ページ： 1-3  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,熱アクチュエータに基づく二重パラメータオンチップ試験プラットフォーム(試験機)を導入し,静的引張破壊強度と動的衝撃曲げ破壊強度を抽出した。プロセス品質は抽出した破壊強度パラメータに基づいて評価できる。試験機は,精密装置に頼ることなく,定量可能な読み出しの特性を持っている。試験機の構造と製造プロセスについて述べた。試験結果に重要な影響を及ぼすエッチング過程の間に線幅損失がある試験機の走査電子顕微鏡(SEM)画像においてそれを見つけた。試験結果は,試験機がマイクロ梁の品質検査を首尾よく達成して,静的引張破壊強度と衝撃曲げ破壊強度の正確な検出と抽出を達成することを示した。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エッチング ,  品質 ,  走査電子顕微鏡 ,  *微細構造 ,  画像 ,  試験装置 ,  生産工程 ,  衝撃 ,  *アクチュエータ ,  品質検査 ,  *破壊強さ
準シソーラス用語： 線幅 ,  曲げ破壊 ,  引張破壊 ,  *オンチップ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 微細構造 ,  破壊 ,  強度試験 ,  アクチュエータ ,  試験 ,  プラットフォーム