文献

J-GLOBAL ID：201902267492852996   整理番号：19A0772503

選択燃焼触媒を用いた熱電ガスセンサ

Thermoelectric gas sensors with selective combustion catalysts

著者 (8件)： SHIN Woosuck (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)) ,  TAJIMA Kazuki (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)) ,  IZU Noriya (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)) ,  ITOH Toshio (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)) ,  MATSUBARA Ichiro (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)) ,  MURAYAMA Norimitsu (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)) ,  NISHIBORI Maiko (Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University) ,  GOTO Tomoyo (The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University)
資料名： Journal of the Ceramic Society of Japan (Web)  (Journal of the Ceramic Society of Japan (Web))
巻： 127  号： 2  ページ： 57-66(J-STAGE)  発行年： 2019年 
JST資料番号： U0409A  ISSN： 1348-6535  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガス選択燃焼触媒と組み合わせた一連の材料を用いて,熱電ガスセンサ(TGS)を開発した。TGSは,それらの感度を向上させるために,膜型マイクロホットプレート上に形成されたマイクロデバイス構造を有する。TGSの作動原理は,熱電気検出と検出ガスの触媒燃焼の相乗的組合せを含み,このことにより,湿度と他の可燃性ガスの影響を除去し,高感度ガス検出を可能にする。本稿では薄膜プロセスとTGS用のマイクロデバイスにセラミック触媒を統合する方法論を紹介し,ガスセンサの大量生産をこの研究で実証した。TGSは,大気中の数百万分の1(ppm)からパーセントの広い範囲のH濃度を検出でき,長期安定性を備えた堅牢な検出性能を示す。0~200ppmのH₂濃度での呼気H₂測定などの新しいアプリケーションを開発した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 触媒 ,  触媒燃焼 ,  *熱電素子 ,  固体素子 ,  機能性セラミック ,  製品開発 ,  高感度 ,  *気体 ,  *水素 ,  *ガスセンサ ,  *ガス検出器 ,  過程 ,  *水素ガス ,  燃焼触媒 ,  薄膜プロセス
準シソーラス用語： マイクロデバイス ,  *熱電デバイス

著者キーワード (8件)： 熱電 ,  薄膜 ,  触媒 ,  燃焼器 ,  MEMS ,  ガスセンサ ,  水素 ,  呼吸

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  熱電デバイス  (NC03090J)

引用文献 (41件)：

• 1) A. Katsuki and K. Fukui, Sensor. Actuat. B-Chem., 52, 30-37 (1998).
• 2) JIS M 7626-1994, Stationary type combustible gas alarm (1994).
• 3) W. Shin, M. Matsumiya, N. Izu and N. Murayama, Sensor. Actuat. B-Chem., 93, 304-308 (2003).
• 4) W. Shin, M. Nishibori and I. Matsubara, Synthesiology, 4, 99-107 (2011).
• 5) W. Shin, T. Itoh and N. Izu, Synthesiology, 8, 211-219 (2015).

タイトルに関連する用語 (2件)： 燃焼触媒 ,  ガスセンサ