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J-GLOBAL ID：201902268773391764   整理番号：19A1386670

LCRと直接電荷ベース機器を用いた並列試験構造の容量測定に関するテストスループット解析の研究【JST・京大機械翻訳】

A Study of Test Throughput Analysis on Capacitance Measurement of Parallel Test Structures Using LCR and Direct Charge based Instruments

著者 (5件)： Katragadda Veenadhar (PDYE Test & Char, GlobalFoundries, Malta, NY, USA) ,  Deshmukh Namita (PDYE Test & Char, GlobalFoundries, Malta, NY, USA) ,  Gasasira Arthur (PDYE Test & Char, GlobalFoundries, Malta, NY, USA) ,  Lee Cheng-Mao (Semiconductor Test, Keysight Technologies, USA) ,  Cusick Alan (PDYE Test & Char, GlobalFoundries, Malta, NY, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019  号： ICMTS  ページ： 146-148  発行年： 2019年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 技術スケーリングの進歩は,面積当たりの追加構造の更なる統合を可能にした。より小さい包装における改良された性能の直接的利益が達成される一方,構造当たりの試験内容は,より速く,より良い収率学習,最終的に試験時間とコストを上げるために増加した。複数のデバイスを同時に測定できる並列試験は,そのような高い試験要求[1][2]を扱う結果を示した。本論文では,従来のLCR計を用いた容量測定と,先端技術ノード上での直接電荷測定(DCM)ハードウェア[3]を検討した。LCRメータは共有資源であるが,DCMは容量測定のピンベースアーキテクチャであり,より高いスループットを可能にする。DCMベースのハードウェアをLCRメータに比較する最近の研究[3][4][7]は,デバイスが特に技術開発の初期段階の間により高い漏れを示すとき,短くなることができる。改善されたDCMハードウェア[6]が,スループットを維持しながら,LCRへのより良い全体的相関を助ける方法を示した。また,並列試験(DFPT)のために設計された構造は,DCMを用いてテストされるとき,より高いスループットに寄与する。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ハードウェア ,  学習 ,  *スループット ,  計算機アーキテクチャ ,  *電荷
準シソーラス用語： 電荷測定 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 移動通信  (ND08030H) ,  計算機網  (JC03000K) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  計算機システム開発  (JD02010R) ,  無線通信一般  (ND08010L)

タイトルに関連する用語 (7件)： LCR ,  電荷 ,  試験 ,  テスト ,  スループット ,  解析 ,  研究