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J-GLOBAL ID：201902269239837702   整理番号：19A0902125

横せん断干渉法の測定精度を改善する方法【JST・京大機械翻訳】

A method for improving the measurement accuracy of lateral shearing interferometry

著者 (10件)： Li Jie (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Tang Feng (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics (China)) ,  Wang Xiangzhao (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics (China)) ,  Ba Rongsheng (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Zhou Xinda (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Zheng Yinbo (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Ding Lei (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Chen Bo (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Yang Xiaoyu (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Yuan Jing (China Academy of Engineering Physics (China))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10618  ページ： 106180P-8  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 横方向せん断干渉法(LSI)の測定精度を改善するための系統的誤差較正法を示した。この方法を用いて,幾何学的光路差(OPD)と検出器傾斜誤差の最も顕著な誤差を除去した。0°と90°方向の差分フロントを用いて,差分Zernike多項式フィッティングを用いて波面を再構成した。また,45°と135°の方向における差分フロントも,波面を再構成するために使用される。幾何学的OPDと検出器傾斜誤差から再構成波面間の係数差を発生させた。Zernike係数差と系統的パラメータの間の関係を剪断マトリックスに基づいて提示した。したがって,回折光収束点(d)と検出器傾斜角の距離は,係数差から計算できる。計算したdと検出器傾斜角に基づいて,幾何学的OPDと検出器傾斜誘起系統誤差を除去し,LSIの測定精度を改善した。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 回折 ,  *剪断 ,  *測定精度 ,  Zernike多項式 ,  LSI【IC】 ,  検出器 ,  *干渉測定 ,  傾斜角 ,  パラメータ ,  系統誤差 ,  波面 ,  再構成
準シソーラス用語： 光路差 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (3件)： せん断 ,  干渉法 ,  測定精度