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J-GLOBAL ID：201902272557020648   整理番号：19A1628202

多層Mo/SiミラーにおけるMo膜の微細構造と密度【JST・京大機械翻訳】

Microstructure and Density of Mo Films in Multilayer Mo/Si Mirrors

著者 (7件)： Vainer Yu. A. (Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia) ,  Garakhin S. A. (Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia) ,  Polkovnikov V. N. (Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia) ,  Salashchenko N. N. (Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia) ,  Svechnikov M. V. (Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia) ,  Chkhalo N. I. (Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia) ,  Yunin P. A. (Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia)
資料名： Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques  (Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques)
巻： 13  号： 1  ページ： 8-13  発行年： 2019年 
JST資料番号： W4669A  ISSN： 1027-4510  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 広角及び小角X線回折法を用いて,アルゴン雰囲気中でマグネトロンスパッタリングにより合成した周期的X線Mo/Siミラーにおける層厚の関数としてMo密度を得た。シミュレーションした非周期的多層Mo/Siミラーの例により,Moの実際の密度とその表された密度の不正確な使用を考慮する必要性を示した。Copyright 2019 Pleiades Publishing, Ltd. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  *モリブデン ,  *微細構造 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *ケイ素 ,  *多層 ,  層厚 ,  X線 ,  薄膜成長 ,  X線回折分析
準シソーラス用語： アルゴン雰囲気 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： X線多層鏡 ,  X線回折 ,  薄膜密度 ,  コヒーレント散乱領域 ,  Williamson-Hallプロット ,  非周期ミラー

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (7件)： 多層 ,  Mo ,  Si ,  ミラー ,  Mo膜 ,  微細構造 ,  密度