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J-GLOBAL ID：201902274375230942   整理番号：19A0030208

ホロー陰極を有する炭素クラスタイオン源の開発【JST・京大機械翻訳】

Development of a carbon cluster ion source with a hollow cathode

著者 (4件)： Imamura Yuta (Graduate School of Science and Engineering, Doshisha University, Kyotanabe, Kyoto 610-0321, Japan) ,  Miyamoto Naoki (Graduate School of Science and Engineering, Doshisha University, Kyotanabe, Kyoto 610-0321, Japan) ,  Kasuya Toshiro (Graduate School of Science and Engineering, Doshisha University, Kyotanabe, Kyoto 610-0321, Japan) ,  Wada Motoi (Graduate School of Science and Engineering, Doshisha University, Kyotanabe, Kyoto 610-0321, Japan)
資料名： AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)
巻： 2011  号： 1  ページ： 080019-080019-3  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0071C  ISSN： 0094-243X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 炭素クラスタイオンビームを,炭素冷中空陰極を有するモノプラズマトロンイオン源を用いて製造した。中空陰極のガス注入位置を変えると,抽出イオンの強度と種の差が生じた。純粋な炭素クラスタイオンビームを,イオン源,70mAの放電電流,1kVの抽出電圧,および静電レンズシステムによる集束において,約36PaのArガス圧で首尾よく製造した。供給源の運転は,しばしば急速な排出ポンプに起因する排出消火によって制限された。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 静電レンズ ,  高速度 ,  アルゴン ,  *ホロー陰極 ,  電圧 ,  *イオン源 ,  消火 ,  ガス圧 ,  放電電流

分類 (1件)： 電子源,イオン源  (BD02020U)

タイトルに関連する用語 (4件)： ホロー陰極 ,  炭素クラスタ ,  イオン源 ,  開発