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J-GLOBAL ID：201902274540454174   整理番号：19A1658207

C-シリコンの不動態化のためのALD[数式:原文を参照]プロセスパラメータの最適化と工業用単結晶シリコン太陽電池へのその実装【JST・京大機械翻訳】

Optimization of ALD [Formula : see text] process parameters for passivation of c-silicon and its implementation on industrial monocrystalline silicon solar cell

著者 (4件)： Bansal Akansha (Department of Electronics and Communication Engineering, Indian Institute of Information Technology, Allahabad, UP, India) ,  Singh Prashant (Department of Electronics and Communication Engineering, Indian Institute of Information Technology, Allahabad, UP, India) ,  Jha Rajesh Kumar (Department of Electronics and Communication Engineering, Indian Institute of Information Technology, Allahabad, UP, India) ,  Singh B. R. (Department of Electronics and Communication Engineering, Indian Institute of Information Technology, Allahabad, UP, India)
資料名： Applied Physics. B. Lasers and Optics  (Applied Physics. B. Lasers and Optics)
巻： 125  号： 6  ページ： 1-11  発行年： 2019年 
JST資料番号： E0501B  ISSN： 0946-2171  CODEN： APBOEM  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： c-シリコン表面の表面不動態化のための原子層蒸着(ALD)を用いて蒸着した[数式:原文を参照]に及ぼすプロセスパラメータの影響を調べた。[数式:原文を参照]の表面不動態化特性を,[数式:原文を参照]界面における少数キャリア寿命と界面電荷を評価することにより測定した。[数式:原文を参照]の表面不動態化特性は,基板温度,アニーリング温度,堆積[数式:原文を参照]膜の厚さなどのプロセスパラメータに強く依存することが観察された。少数キャリア寿命,有効電荷密度([数式:原文を参照]),および界面欠陥密度([数式:原文を参照])は,種々のプロセスパラメータに対して,それぞれ180から[数式:原文を参照],[数式:原文を参照]から[数式:原文を参照],および[数式:原文を参照]から[数式:原文を参照]へ変化することが観察された。次に,最適化されたプロセスパラメータに基づく[数式:原文を参照]膜を,工業用PERC太陽電池の製造における不動態化層として用いた。PERC太陽電池における[数式:原文を参照]不動態化の影響を,PERC太陽電池の特性を標準的なAl BSF太陽電池のそれと比較することによって実証した。[数式:原文を参照]の効率改善は,標準的なアルミニウム背面電界(Al BSF)太陽電池と比較して,不動態化エミッタ後部セル(PERC)太陽電池で観察されている。Copyright 2019 Springer-Verlag GmbH Germany, part of Springer Nature Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 基板温度 ,  *プロセスパラメータ ,  界面 ,  *最適化 ,  *不動態化 ,  電場 ,  *太陽電池 ,  効率化
準シソーラス用語： アニーリング温度 ,  界面電荷 ,  少数キャリア寿命 ,  表面不動態化 ,  *結晶シリコン太陽電池 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  固体プラズマ  (BM02160W) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (10件)： シリコン ,  不動態化 ,  ALD ,  数式 ,  参照 ,  プロセスパラメータ ,  最適化 ,  工業 ,  単結晶シリコン太陽電池 ,  実装