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J-GLOBAL ID：201902275400136138   整理番号：19A0511473

大規模集積ディジタル回路のためのNb/Al-AlOx/Nbトンネル接合の開発【JST・京大機械翻訳】

Development of Nb/Al-AlOx/Nb Tunnel Junction for Large-Scale Integrated Digital Circuits

著者 (6件)： Xiong Wei (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology and the Center for Excellence in Superconducting Electronics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Ying Liliang (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology and the Center for Excellence in Superconducting Electronics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Wu Yu (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology and the Center for Excellence in Superconducting Electronics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Ren Jie (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology and the Center for Excellence in Superconducting Electronics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Peng Wei (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology and the Center for Excellence in Superconducting Electronics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Wang Zhen (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology and the Center for Excellence in Superconducting Electronics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China)
資料名： IEEE Transactions on Applied Superconductivity  (IEEE Transactions on Applied Superconductivity)
巻： 27  号： 4  ページ： ROMBUNNO.1100304.1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0177A  ISSN： 1051-8223  CODEN： ITASE9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者らは,SIMITにおける超伝導集積回路のためのNb/Al-AlO_x/Nb Josephson接合製造プロセスの最新の開発を提示した。著者らの製造プロセスは,4つのニオブ超伝導層と1つのTi/Pd抵抗層を有し,接合シャントと回路バイアスのために1.0Ω/正方形シート抵抗を有する。接合部の臨界電流密度J_cは,純または混合O_2雰囲気にアルミニウム層を曝露することにより,30A/cm2から10kA/cm2まで制御される。測定したJ_cと曝露条件の間の相関を確立した。著者らのプロセスにおける接合部の平均品質因子(R_sg/R_n)は,30mVを超えるサブギャップ漏れ係数(V_m)を有する20より大きかった。1000-JJアレイのスイッチング電流(I_s)分布に従って,臨界電流均一性を得た。I_sの測定標準偏差シグマは100mmウエハ上で4%以下であった。大きなJosephson接合におけるプラズマ共鳴を用いて,接合の比静電容量(C_s)を測定した。超伝導ニオブストリップ線路のシートインダクタンスをSQUID診断回路によって抽出し,測定結果は著者らの設計値と良く一致することを示した。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 生産工程 ,  バイアス ,  ニオブ ,  超伝導 ,  接合部 ,  *トンネル接合 ,  臨界電流 ,  Josephson接合 ,  プラズマ共鳴 ,  チタン ,  *接合 ,  パラジウム ,  *LSI【IC】 ,  臨界電流密度 ,  インダクタンス

分類 (2件)： パターン認識  (JE07000S) ,  人工知能  (JE08000Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 大規模集積 ,  ディジタル回路 ,  Nb ,  Al ,  トンネル接合 ,  開発