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J-GLOBAL ID：201902275619677560   整理番号：19A2083364

オペランド脱着ガス分析システムの開発

Development of Operand Desorption Gas Analysis System

著者 (4件)： KURISU Hiroki (Yamaguchi Univ., Yamaguchi, JPN) ,  KIMURA Takayuki (Yamaguchi Univ., Yamaguchi, JPN) ,  YAMAMOTO Setsuo (Yamaguchi Univ., Yamaguchi, JPN) ,  HIGUCHI Tetsuo (JEOL Ltd., Tokyo, JPN)
資料名： Sensors and Materials  (Sensors and Materials)
巻： 31  号： 8 (2)  ページ： 2547-2554  発行年： 2019年 
JST資料番号： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 山口大学のナノ加工の支援研究所はナノテクノロジープラットフォーム日本におけるナノ加工プラットフォームコンソーシアムのメンバーである。著者らの研究室は,ナノ加工に加えて,元の真空技術に基づく材料とデバイスの脱着ガス分析を特徴としている。本論文では,ガス分析システムの一つであるオペランド脱着ガス分析システム(動的熱脱着スペクトロメータ)について解説した。このシステムの利点は,ガスクロマトグラフィー/質量スペクトロメータを用いて,ほぼ大気圧(0.1~0.2MPa)下での操作装置の脱着ガス分析を可能にし,熱脱着分光法のための従来の装置の真空中に置かれた試料と対照的である。さらに,このオペランドガス分析システムを用いた2つの測定例(DC電動機と太陽電池)について述べた。DCモータにおいて,モータからの主要な脱着ガスは,加熱によって引き起こされる故障または停止の発生によって,モータ電力と同様に挙動していた。太陽電池において,太陽電池からの開回路電圧と主要な脱着ガスの間の温度依存性の比較から,シーリング部の温度耐久性は電子発生効率に関連することが確認された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *熱脱着 ,  ガス分析計 ,  スペクトロメータ ,  ガスクロマトグラフィー ,  質量分析計 ,  スペクトロスコピー ,  直流電動機 ,  太陽電池 ,  電圧 ,  温度依存性 ,  ナノメータ加工 ,  真空技術 ,  *ガス分析
準シソーラス用語： ナノテクノロジープラットフォーム ,  開回路電圧

分類 (1件)： 分光分析  (CC03012W)

引用文献 (11件)：

• H. Kurisu, T. Muranaka, N. Wada, S. Yamamoto, M. Matsuura, and M. Hesaka: J. Vac. Sci. Technol. A 21 (2003) L10.
• H. Kurisu, S. Yamamoto, M. Matsuura, T. Morimoto, and M. Hesaka: J. Vac. Soc. Jpn. 50 (2007) 41.
• H. Kurisu, K. Ishizawa, S. Yamamoto, M. Hesaka, and Y. Saito: J. Phys. Conf. Ser. 100 (2008) 092002.
• M. Takeda, H. Kurisu, S. Yamamoto, H. Nakagawa, and K. Ishizawa: Appl. Surf. Sci. 258 (2011) 1405.
• M. Yamamoto, T. Miyajima, T. Uchiyama, and M. Kobayashi: NanotechJapan Bull. 7 (2014). https://www.nanonet.go.jp/ntjb_pdf/nanotechEXPRESS-35.pdf

タイトルに関連する用語 (4件)： オペランド ,  脱着 ,  ガス分析 ,  開発