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J-GLOBAL ID:201902276581756206   整理番号:19A1376633

金誘起層交換成長法で作製したGe薄膜における電気伝導特性の理解

著者 (8件):
資料名:
巻: 66th  ページ: ROMBUNNO.12p-M113-2  発行年: 2019年02月25日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2436-7613  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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これまで我々は,金誘起層交換成長(GIC)法[1]を用いて,ガラス基板及びフレキシブル基板上に結晶粒径が500 μm以上の擬似単結晶Ge (PSC-Ge)薄膜を作製することに成功し[2],300 Kにおける正孔キャリア密度が1017 ~ 1...【本文一部表示】
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分類 (2件):
分類
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半導体の結晶成長  ,  半導体薄膜 

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