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J-GLOBAL ID：201902279512672656   整理番号：19A1334977

BEOL/FEOL応用のための多重スポット競合進行性破壊のための包括的方法論【JST・京大機械翻訳】

Comprehensive Methodology for Multiple Spots Competing Progressive Breakdown for BEOL/FEOL Applications

著者 (4件)： Wu Ernest Y. (Essex Junction, VT, USA) ,  Li Baozhen (Essex Junction, VT, USA) ,  Stathis James H. (Yorktown Heights, NY) ,  Kim Andrew (Hopewell Junction, NY, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019  号： IRPS  ページ： 1-8  発行年： 2019年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚さ可変性の存在におけるBEOL/FEOL応用における多重スポット競合進行性破壊(PBD)を示す絶縁破壊(BD)の一般的枠組みを提示した。モンテカルロシミュレーション手順を用いて,FEOL SiO_2における小さな厚さ変化からBEOL低K誘電体における非常に大きな変化へのBD後の現象を調べた。最近[1]で行われたような電流過渡現象を直接モデル化するよりも,多重BDスポットとそれらの関連する進行性破壊時間(T_PBD)を発生させるために逐次BD統計方法論を適用した。単一スポットPBDモードに対して,最初のBD時間(T_BDまたはT_BD1)は,可変性が存在してもその残留時間(T_RES)と本質的に相関しないことを示した。対照的に,多重スポット競合PBDの場合には,最終的な硬い破壊(HBD)分布は基本的には厚さの変化により影響され,それらは非Weibullになり,高い百分率でPoisson面積スケーリングからずれる。厚さ可変性が存在する場合,多重スポットPBDを含むT_BDとT_RES結果の間の重要な固有相関を報告した。MCシミュレーション結果は,FEOLとBEOL応用からの3セットのハードウェアに対する実験データと非常に良く一致した。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *多重化 ,  シミュレーション ,  絶縁破壊 ,  *進行性破壊 ,  モデリング ,  滞留時間 ,  電流 ,  ハードウェア ,  誘電体 ,  過渡現象
準シソーラス用語： モンテカルロシミュレーション ,  *FEOL ,  *BEOL , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (8件)： BEOL ,  FEOL ,  応用 ,  多重 ,  スポット ,  競合 ,  進行性破壊 ,  方法論